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龙图腾网获悉厦门乾照半导体科技有限公司申请的专利一种功能器件阵列及其制作装置和制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114284178B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111593568.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种功能器件阵列及其制作装置和制作方法是由吴双;柯志杰;谈江乔;艾国齐;柯毅东设计研发完成，并于2021-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种功能器件阵列及其制作装置和制作方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种功能器件阵列及其制作装置和制作方法，包括：产生系统，所述产生系统用于将生成的声表面驻波作用于功能材料溶液，以使所述功能材料溶液的表面形成液体尖峰阵列；定位系统，所述定位系统用于将目标基板移动至所述功能材料溶液的液体尖峰处，且将所述目标基板的功能区表面阵列与功能材料溶液的液体尖峰阵列对位设置，其中，所述功能材料溶液的液体尖峰与所述目标基板的功能区表面接触，而在所述目标基板的功能区表面处形成功能材料液滴，且所述功能材料液滴挥发后形成所述功能器件。本发明提出了一种新型的制作工艺及装置。无需将功能材料溶液通过喷嘴喷涂，不仅避免了资源的浪费，还实现了高密度功能器件阵列的制备。

本发明授权一种功能器件阵列及其制作装置和制作方法在权利要求书中公布了：1.一种功能器件阵列的制作装置，其特征在于，包括： 产生系统，所述产生系统用于将生成的声表面驻波作用于功能材料溶液，以使所述功能材料溶液的表面形成液体尖峰阵列；所述产生系统包括：波生成单元，所述波生成单元用于生成所述声表面驻波；材料容器，所述材料容器位于所述波生成单元的上方，所述材料容器用于盛放所述功能材料溶液且所述功能材料溶液根据所述声表面驻波在所述材料容器的开口侧形成液体尖峰阵列； 定位系统，所述定位系统用于将目标基板移动至所述功能材料溶液的液体尖峰处，且将所述目标基板的功能区表面阵列与功能材料溶液的液体尖峰阵列对位设置，其中，所述功能材料溶液的液体尖峰与所述目标基板的功能区表面接触，而在所述目标基板的功能区表面处形成功能材料液滴，且所述功能材料液滴挥发后形成所述功能器件； 其中，所述波生成单元包括： 压电基底； 设置于所述压电基底一侧表面上的声学器件和波导层，所述声学器件用于生成所述声表面驻波，所述波导层用于将所述声表面驻波传输至位于所述波导层背离所述压电基底一侧的材料容器中，所述声学器件包括多对叉指换能器。

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