株式会社斯库林集团高桥朋宏获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114446823B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111269772.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置及基板处理方法是由高桥朋宏设计研发完成，并于2021-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置及基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板处理装置及基板处理方法。基板处理装置100具备：基板保持部120，保持配列成沿列方向排成一列的基板列的多个基板W；处理槽110，贮存用以浸渍由基板保持部120保持的基板W的处理液L；及多个气泡产生管136，通过对处理液L供给气体而在处理液L中产生气泡。多个气泡产生管136中，对位于浸渍在处理液L中的基板列的端部下方的端部气泡产生管136b、136c供给的气体的流量，多于对位于基板列的中央下方的中央气泡产生管136a供给的气体的流量。
本发明授权基板处理装置及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，具备： 基板保持部，保持配列成沿列方向排成一列的基板列的多个基板； 处理槽，贮存用以浸渍由所述基板保持部保持的基板的处理液； 多个气泡产生管，通过对所述处理液供给气体而在所述处理液中产生气泡； 多个气体供给管，与所述多个气泡产生管连接； 流量控制机构，控制流经所述多个气体供给管的气体的流量； 压力计，测定流经与所述多个气泡产生管中位于浸渍在所述处理液中的所述基板列的端部下方的端部气泡产生管连接的气体供给管的气体的压力、及流经与位于所述基板列的中央部下方的中央气泡产生管连接的气体供给管的气体的压力；及 控制部，控制所述流量控制机构； 所述控制部根据所述压力计所测定出的流经与所述端部气泡产生管连接的气体供给管的气体的压力、及流经与所述中央气泡产生管连接的气体供给管的气体的压力而控制所述流量控制机构，以使对所述端部气泡产生管供给的气体的流量多于对所述中央气泡产生管供给的气体的流量的方式，控制流经所述多个气体供给管的气体的流量。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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