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龙图腾网获悉吉林华微电子股份有限公司申请的专利六英寸硅片气动倒舟器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115910875B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110921632.1，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权六英寸硅片气动倒舟器是由燕超;李伟;潘笑星;刘博宇设计研发完成，并于2021-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本六英寸硅片气动倒舟器在说明书摘要公布了：本发明公开了六英寸硅片气动倒舟器，包括机架、前机壳、后机壳、夹持机构、举升机构、倒片器座、操作台、控制按钮，其中前机壳与后机壳均环绕包裹于机架的外周并与其固定连接，操作台包括操作台座与操作台面，操作台座为长方形平板且其顶面固定连接有操作台面，操作台面的一端滑动连接有倒片器座，夹持机构包括气缸一、气缸二、带齿片托一组、带齿片托二组、倒片器夹具、气缸架、滑杆组，举升机构包括升降气缸、支臂组、导向杆、导向套、连板、倒片器呈片齿，所述支臂组、导向杆、导向套、连板、倒片器呈片齿均位于前机壳内，升降气缸位于后机壳内，本发明能自动将硅片在片筐于石英片舟之间倒换，降低操作员工的劳动强度，提高生产效率。

本发明授权六英寸硅片气动倒舟器在权利要求书中公布了：1.六英寸硅片气动倒舟器，其特征在于，包括机架、前机壳、后机壳、夹持机构、举升机构、倒片器座、操作台、控制按钮，所述前机壳与后机壳均环绕包裹于机架的外周并与其固定连接，且后机壳的高度高于前机壳的高度，所述前机壳的顶面与操作台固定连接，所述操作台包括操作台座与操作台面，所述操作台座为长方形平板且其顶面固定连接有操作台面，所述操作台面的一端滑动连接有倒片器座，所述夹持机构包括气缸一、气缸二、带齿片托一组、带齿片托二组、倒片器夹具、气缸架、滑杆组，所述气缸一、气缸二、气缸架、滑杆组均位于后机壳内，所述滑杆组包括两根平行并固定连接于机架上的滑杆，每根所述滑杆的两端各贯穿并滑动连接有一个气缸架，每两个同一高度的所述气缸架为一组，所述气缸一与气缸二的首尾两端分别与一组的气缸架固定连接，所述带齿片托一组包括两个带齿片托一，每个带齿片托一的侧面均固定连接于与其相对应的倒片器夹具的内侧，所述倒片器夹具的端部与相对应的气缸架固定连接，所述带齿片托二组包括两个带齿片托二，每个带齿片托二的侧面均固定连接于与其相对应的倒片器夹具的内侧，所述带齿片托一位于带齿片托二的正上方，所述后机壳的前面板的上部设有相平行的方孔，所述倒片器夹具每两个为一组从方孔内伸出，并将带齿片托一、带齿片托二露出前面板外，所述举升机构包括升降气缸、支臂组、导向杆、导向套、连板、倒片器呈片齿，所述支臂组、导向杆、导向套、连板、倒片器呈片齿均位于前机壳内，所述升降气缸位于后机壳内，所述支臂组包括两个支臂，所述两个支臂的底端分别固定连接于连板的两侧，所述每个支臂的顶端依次贯穿操作台座、操作台面，且均固定连接有一个倒片器呈片齿，所述导向杆竖直位于机架的下部且其两端均与机架固定连接，所述升降气缸竖直固定连接于机架上，且其活塞杆端与连板固定连接，所述导向套固定连接于连板上且位于升降气缸活塞杆端的一侧，所述导向杆贯穿导向套并与其滑动连接，所述控制按钮包括安装于前机壳上的开始按钮、状态旋钮、暂停按钮、功能钮。

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