上海微电子装备(集团)股份有限公司王保亮获国家专利权
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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利一种曝光台及光配向装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115480426B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110602460.1，技术领域涉及：G02F1/1337；该发明授权一种曝光台及光配向装置是由王保亮;廖飞红;罗闻;贾威威;李新振;梁家勇设计研发完成，并于2021-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种曝光台及光配向装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种曝光台及光配向装置，曝光台包括：安装底板、多条支柱、至少一层第一隔热组件、加热器和承板台；所述承板台用于放置基板；所述加热器设置于所述承板台靠近所述安装底板的一侧，并与所述承板台固定，用于对所述承板台加热；所述支柱用于将所述承板台和所述加热器固定在所述安装底板上；所述支柱通过所述第一隔热组件连接所述加热器。本发明提供的技术方案，以提供具有散热功能的可加热的曝光台。
本发明授权一种曝光台及光配向装置在权利要求书中公布了：1.一种曝光台，其特征在于，包括：安装底板、多个支柱、至少一层第一隔热组件、加热器、调平隔热解耦支柱组件和承板台； 所述承板台用于放置基板；所述加热器设置于所述承板台靠近所述安装底板的一侧，并与所述承板台固定，用于对所述承板台加热；所述支柱用于将所述承板台和所述加热器固定在所述安装底板上； 所述支柱通过所述第一隔热组件连接所述加热器；所述第一隔热组件包括隔热板，所述隔热板与所述加热器在局部区域进行接触； 所述调平隔热解耦支柱组件分别与所述承板台和所述支柱固定连接；每个所述支柱上均设置一个所述调平隔热解耦支柱组件； 所述调平隔热解耦支柱组件包括螺母可调机构和隔热块；所述螺母可调机构用于实现所述承板台的调平；所述隔热块用于防止所述加热器发出的热量沿所述支柱向靠近所述安装底板的一侧传递，并用于对所述承板台进行热形变解耦。
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