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龙图腾网获悉罗伯特·博世有限公司申请的专利盖器件或盖晶圆的制造方法、微机械封装的制造方法、封装器件的方法、盖晶圆、盖器件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113548635B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110442373.4，技术领域涉及：B81B7/02；该发明授权盖器件或盖晶圆的制造方法、微机械封装的制造方法、封装器件的方法、盖晶圆、盖器件是由J·赖因穆特;S·平特设计研发完成，并于2021-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本盖器件或盖晶圆的制造方法、微机械封装的制造方法、封装器件的方法、盖晶圆、盖器件在说明书摘要公布了：本发明涉及一种通过以下步骤制造盖器件或盖晶圆的制造方法：在第一衬底的第一衬底表面上形成第一凹槽和第二凹槽，使得借助第一凹槽由第一衬底的材料形成穿通的第一框架结构，通过第二衬底形成至少一个连续的凹部，使得借助连续的凹部由第二衬底的材料形成封闭的第二框架结构，借助封闭的第二框架结构覆盖第二凹槽，在第一框架结构和第二框架结构上构造以后的盖器件或以后的盖晶圆的部分外表面，使得第二凹槽作为通道穿通部分外表面。本发明还涉及一种用于制造用于至少一个器件的微机械封装的方法以及一种用于封装至少一个器件的方法。本发明还涉及一种盖晶圆、一种盖器件、一种用于至少一个器件的微机械封装以及一种装置。

本发明授权盖器件或盖晶圆的制造方法、微机械封装的制造方法、封装器件的方法、盖晶圆、盖器件在权利要求书中公布了：1.一种用于制造至少一个盖器件46或盖晶圆44的制造方法，所述制造方法具有以下步骤： 在第一衬底14的第一衬底表面14a中如此形成至少一个第一凹槽10和至少一个第二凹槽12，使得借助所述至少一个第一凹槽10各形成一个由所述第一衬底14的材料形成的、穿通的第一框架结构18，所述穿通的第一框架结构分别包围一个构造在其内侧18a上的第一凹槽10，并且所述穿通的第一框架结构被通到相应的第一凹槽10中的至少一个第二凹槽12穿通； 通过第二衬底24如此形成至少一个贯穿的凹部28，使得借助所述至少一个贯穿的凹部28各形成一个由所述第二衬底24的材料形成的、封闭的第二框架结构30，并且，在形成所述至少一个贯穿的凹部28或形成至少一个封闭的第二框架结构30之前，将所述第二衬底24如此固定在所述至少一个穿通的第一框架结构18的内侧18a上，使得所述至少一个第二凹槽12在所述至少一个穿通的第一框架结构18的所述内侧18a上被所述至少一个封闭的第二框架结构30覆盖； 在至少一个第一框架结构18和所述至少一个第二框架结构30上如此构造至少一个以后的盖器件46的或以后的盖晶圆44的至少一个部分外表面36，使得所述至少一个第二凹槽12作为通道16穿通所述至少一个以后的盖器件46或所述以后的盖晶圆44的所述至少一个部分外表面36，其中，在构造所述至少一个以后的盖器件46或所述以后的盖晶圆44的所述至少一个部分外表面36时，通过以下步骤构造所述至少一个以后的盖器件46或所述以后的盖晶圆44的至少一个窗附接面36： 在所述第一衬底14的背离所述第一衬底表面14a地指向的第二衬底表面14b中构造至少一个倾斜的锯切口或铣削切口38，其中，所述倾斜的锯切口或铣削切口38构造在第一切口方向上，所述第一切口方向具有相对于所述第一衬底14的第二衬底表面14b处于10°至80°之间的第一倾斜角； 在构造所述至少一个倾斜的锯切口或铣削切口38之前、同时或之后，在所述第一衬底14的第二衬底表面14b中构造至少一个垂直的锯切口或铣削切口42，其中，所述垂直的锯切口或铣削切口42构造在第二切口方向上，所述第二切口方向具有相对于所述第一衬底14的第二衬底表面14b处于80°至90°之间的第二倾斜角。

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