北京科益虹源光电技术有限公司殷青青获国家专利权
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龙图腾网获悉北京科益虹源光电技术有限公司申请的专利快速寻峰方法和快速测量激光波长的方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115144087B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110343963.1，技术领域涉及：G01J9/02；该发明授权快速寻峰方法和快速测量激光波长的方法及装置是由殷青青;刘广义;江锐;徐向宇设计研发完成，并于2021-03-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本快速寻峰方法和快速测量激光波长的方法及装置在说明书摘要公布了：一种快速寻峰方法和快速测量激光波长的方法及装置，快速寻峰方法包括：预先在待测激光要形成多级干涉条纹的焦平面上布置能量探测器组，能量探测器组包括紧密排列的M个能量探测器，M≥2，能量探测器组的探测覆盖范围至少等于相邻两级干涉条纹之间的距离。当待测激光在焦平面形成实际干涉条纹时，根据M个能量探测器的探测电压高低分布确定目标寻峰区域，目标寻峰区域为M个能量探测器中特定能量探测器的位置所对应的寻峰区域。在目标寻峰区域内寻找实际干涉条纹的有效峰值位置。实现了对干涉条纹峰值区域的快速预判，实现了波长的实时、高速测量，有利于提高激光器工作时的波长稳定性，有助于提高光刻领域的准分子激光器的输出光谱稳定性。
本发明授权快速寻峰方法和快速测量激光波长的方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种用于激光波长测量的快速寻峰方法，其特征在于，包括： 预先在待测激光要形成多级干涉条纹的焦平面上布置能量探测器组，所述能量探测器组包括紧密排列的M个能量探测器，M≥2，所述能量探测器组的探测覆盖范围至少等于相邻两级干涉条纹之间的距离，其中，所述M个能量探测器布置于1个级次的干涉条纹活动区域，所述级次的干涉条纹活动区域为波长测量范围内的所有波长所对应的该级次的干涉条纹所处的位置区间； 当待测激光在所述焦平面形成实际干涉条纹时，根据所述M个能量探测器的探测电压高低分布确定目标寻峰区域，所述目标寻峰区域为所述M个能量探测器中特定能量探测器的位置所对应的寻峰区域；以及 在所述目标寻峰区域内寻找所述实际干涉条纹的有效峰值位置。
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