ASML荷兰有限公司R·沙雷伊恩获国家专利权
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龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利插补器模型的配置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115427894B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180029601.3,技术领域涉及:G03F7/20;该发明授权插补器模型的配置是由R·沙雷伊恩;V·巴斯塔尼;D·格科鲁;T·多斯桑托斯古泽拉设计研发完成,并于2021-03-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本插补器模型的配置在说明书摘要公布了:配置用于插补第二参数的插补器模型的设备和方法。所述方法包括将包括第一参数的值的第一数据集输入至所述插补器模型,并且评估所述插补器模型以获得包括所述第二参数的经插补值的第二数据集。所述方法还包括:获得包括第三参数的测量值的第三数据集,其中所述第三参数与所述第二参数相关;获得预测模型,所述预测模型被配置成基于输入所述第二参数的值来推断所述第三参数的值;将所述第二数据集输入至所述预测模型,并且评估所述预测模型以获得所述第三参数的推断值;以及基于所述第三参数的所述推断值与所述测量值的比较来配置所述插补器模型。
本发明授权插补器模型的配置在权利要求书中公布了:1.一种计算机程序产品,包括用以进行以下操作的计算机可读指令: 接收用于插补器模型的输入数据以获得经插补数据,其中所述经插补数据至少包括所述输入数据的子集; 获得识别经插补数据内的经插补数据条目和非经插补数据条目的第一列表; 将经插补数据输入至分析器模型,所述分析器模型被配置成辨别经插补数据的经插补数据条目和非经插补数据条目,并且输出识别经插补数据的经插补数据条目和非经插补数据条目的第二列表;以及 基于比较所述第一列表与所述第二列表来配置所述插补器模型。
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