青岛赛瑞达电子装备股份有限公司张海林获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛赛瑞达电子装备股份有限公司申请的专利一种立式高温炉真空密封反射屏炉膛结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112857045B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110285869.5,技术领域涉及:F27D1/00;该发明授权一种立式高温炉真空密封反射屏炉膛结构是由张海林;吴季浩;刘国霞;滕玉朋设计研发完成,并于2021-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种立式高温炉真空密封反射屏炉膛结构在说明书摘要公布了:本发明的一种立式高温炉真空密封反射屏炉膛结构,包括炉盖、炉壳、炉底法兰通过螺栓紧固、密封圈密封且炉底法兰活动密封安装有密封法兰和工艺管的真空密封炉膛,真空密封炉膛内部包括由工艺管限定的工艺腔室,用于进行工艺片的工艺过程,所述真空密封炉膛内部设有炉盖隔热屏、炉壳隔热屏、炉底隔热屏,所述炉盖隔热屏、炉壳隔热屏、炉底隔热屏之间呈迷宫状密封接缝,所述炉盖隔热屏、炉壳隔热屏、炉底隔热屏与所述工艺管之间设有加热腔,所述加热腔内设置加热器。本发明通过在真空密封炉膛内设置多层隔热屏间隔层叠而成的炉盖隔热屏、炉壳隔热屏、炉底隔热屏,且三组隔热屏迷宫状密封接缝,使得立式高温氧化炉中向外扩散的热量得到反射,不仅使得加热达到的温度能够稳定的保持,减少能源消耗,而且还减少了对炉外组件的高温影响。
本发明授权一种立式高温炉真空密封反射屏炉膛结构在权利要求书中公布了:1.一种立式高温炉真空密封反射屏炉膛结构,包括炉盖1、炉壳2、炉底法兰3通过螺栓紧固、密封圈密封且炉底法兰3活动密封安装有密封法兰4和工艺管5的真空密封炉膛,真空密封炉膛内部包括由所述工艺管5限定的工艺腔室,用于进行工艺片的工艺过程, 其特征在于, 所述真空密封炉膛内部设有炉盖隔热屏6、炉壳隔热屏7、炉底隔热屏8,所述炉盖隔热屏、炉壳隔热屏、炉底隔热屏之间呈迷宫状密封接缝,所述炉盖隔热屏、炉壳隔热屏、炉底隔热屏与所述工艺管5之间设有加热腔,所述加热腔内设置加热器9; 所述加热器通过穿过所述炉盖和炉盖隔热屏的加热器电极10吊装于所述加热腔内,所述加热器电极未裸露于所述加热腔部分套设有绝缘套11; 穿过所述炉壳隔热屏和炉壳设置炉壳真空管12,用于实现所述真空密封炉膛形成真空状态,和炉壳进气管13,用于充入惰性气体至所述真空密封炉膛; 所述隔热屏通过隔热屏安装螺栓15固定安装在隔热屏安装板16上,所述隔热屏安装板通过支撑组件分别与所述炉盖、炉壳、炉底法兰固定连接; 所述隔热屏安装螺栓15套设有隔热屏隔套17; 所述隔热屏包括钨隔热屏、钼隔热屏、不锈钢隔热屏中的至少两种; 所述加热器电极10的炉外部分套设电极绝缘水冷密封套18,所述加热器电极与所述电极绝缘水冷密封套通过密封圈密封,所述电极绝缘水冷密封套与所述炉盖固结,所述加热器电极端部还设置接线组件19,用于外接电源; 所述炉壳外部设置热偶密封座20,控温热偶21通过热偶密封圈套装于所述热偶密封座20内; 所述惰性气体包括Ar2或N2中的一种。
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