日本株式会社日立高新技术科学永原幸儿获国家专利权
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龙图腾网获悉日本株式会社日立高新技术科学申请的专利粒子射束装置和复合射束装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113496860B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110279321.X，技术领域涉及：H01J37/26；该发明授权粒子射束装置和复合射束装置是由永原幸儿;间所祐一设计研发完成，并于2021-03-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本粒子射束装置和复合射束装置在说明书摘要公布了：本发明提供粒子射束装置和复合射束装置，该粒子射束装置能够选择性地且适当地切换带电粒子射束和中性粒子射束。粒子射束镜筒19具备离子源41、聚光镜52、电荷交换栅极55和物镜56。离子源41产生离子。聚光镜52通过切换离子射束的聚焦而切换离子射束和中性的射束作为照射至试样S的粒子射束。电荷交换栅极55通过将离子射束的至少一部分中性化而转换成中性粒子射束。物镜56配置于电荷交换栅极55的下游侧。在对试样S照射中性粒子射束作为粒子射束的情况下，物镜56减少朝向试样S的离子射束。
本发明授权粒子射束装置和复合射束装置在权利要求书中公布了：1.一种粒子射束装置，其特征在于，该粒子射束装置具备： 粒子射束镜筒，其对试样照射粒子射束； 带电粒子源，其在所述粒子射束镜筒内产生带电粒子； 转换部，其使在所述粒子射束镜筒内从所述带电粒子源产生的所述带电粒子的射束的至少一部分中性化，由此转换成中性粒子的射束； 切换部，其在所述粒子射束镜筒内切换所述带电粒子的射束和所述中性粒子的射束作为所述粒子射束；和 减少部，其在所述转换部的下游侧减少朝向所述试样的所述带电粒子的射束， 所述减少部具备物镜，按照在比所述转换部靠下游侧的位置使所述带电粒子的射束减速而进行屏蔽的方式对该物镜施加电压。
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