ASML荷兰有限公司伊尔塞·范韦佩伦获国家专利权
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龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利量测测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115280242B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180019607.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权量测测量方法是由伊尔塞·范韦佩伦;H-K·尼恩惠斯;T·J·克嫩设计研发完成，并于2021-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本量测测量方法在说明书摘要公布了：用于确定在衬底中或衬底上制作的结构的、针对漂移误差被补偿的参数的方法和设备。所述方法包括：在多个时间时利用电磁辐射照射所述结构的至少一部分，所述结构的所述至少一部分处于第一定向；在所述多个时间时感测所述结构的所述至少一部分的多个平均反射比；以及基于所述多个平均反射比确定在一个或更多个其他时间时的对所述参数的估计。
本发明授权量测测量方法在权利要求书中公布了：1.一种确定在衬底中或衬底上制作的结构的、针对漂移误差被补偿的参数的方法，所述方法包括： 在多个时间时利用电磁辐射照射所述结构的至少一部分，所述结构的所述至少一部分处于第一定向； 在所述多个时间时感测所述结构的所述至少一部分的多个平均反射比，其中，所述平均反射比指示在所述多个时间时的所述参数，并且所述平均反射比涵盖衍射光谱通量对入射于目标上的光谱通量的比率；以及 基于所述多个平均反射比，确定在一个或更多个其他时间时对所述参数的估计。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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