富泰华工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司蒋光浩获国家专利权
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龙图腾网获悉富泰华工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司申请的专利鳍式场效应晶体管的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114914287B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110183359.7，技术领域涉及：H10D62/10；该发明授权鳍式场效应晶体管的制备方法是由蒋光浩设计研发完成，并于2021-02-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本鳍式场效应晶体管的制备方法在说明书摘要公布了：一种鳍式场效应晶体管的制备方法包括：提供衬底以及位于衬底一表面上的间隔设置的多个鳍式结构；在相邻的鳍式结构之间形成浅沟道隔离结构；在浅沟道隔离结构远离衬底的一侧形成应力层，应力层包裹多个鳍式结构远离衬底的部分；对应力层和多个鳍式结构进行热处理；以及移除应力层。通过在狭长的鳍式结构的上端部分设置完全包裹其上端部分的应力层，产生由所述多个鳍式结构的边缘向中间施加拉拽力的效果，由此可加强每一个鳍式结构的挺立效果，避免鳍式结构出现歪斜弯曲。
本发明授权鳍式场效应晶体管的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种鳍式场效应晶体管的制备方法，其特征在于：其包括： 提供衬底以及位于所述衬底一表面上的间隔设置的多个鳍式结构； 在相邻的鳍式结构之间形成浅沟道隔离结构，所述浅沟道隔离结构的设置使每一个鳍式结构被划分成第一部分和第二部分，所述第一部分与所述浅沟道隔离结构接触连接，而所述第二部分相对所述浅沟道隔离结构露出，所述第二部分包括背离所述衬底的顶面以及连接所述顶面的侧面； 在所述浅沟道隔离结构远离所述衬底的一侧形成应力层，所述应力层完全包裹所述第二部分的顶面和侧面； 对所述应力层和所述多个鳍式结构进行热处理；以及 移除所述应力层。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人富泰华工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司，其通讯地址为：518109 广东省深圳市龙华新区观澜街道大三社区富士康观澜科技园B区厂房4栋、6栋、7栋、13栋(Ⅰ段)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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