浜松光子学株式会社是松克洋获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网获悉浜松光子学株式会社申请的专利激光加工装置及激光加工方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115039204B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180011344.0,技术领域涉及:H01L21/304;该发明授权激光加工装置及激光加工方法是由是松克洋;坂本刚志设计研发完成,并于2021-01-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本激光加工装置及激光加工方法在说明书摘要公布了:本发明的激光加工装置是将聚光区域的一部分对准对象物而照射激光,由此在对象物的内部沿着假想面形成改质区域。激光加工装置,具备:支撑对象物的支撑部;将激光照射于对象物的照射部;以聚光区域的一部分在对象物的内部沿着假想面移动的方式,使支撑部及照射部的至少一方移动的移动机构;及控制支撑部、照射部及移动机构的控制部,照射部以在与激光的光轴垂直的面内的聚光区域的一部分的形状具有长边方向的方式具有对激光进行成形的成形部。长边方向是与聚光区域的一部分的移动方向交叉的方向。
本发明授权激光加工装置及激光加工方法在权利要求书中公布了:1.一种激光加工装置,是将聚光区域的一部分对准对象物而照射激光,由此在所述对象物的内部沿着假想面形成改质区域的激光加工装置,其具备: 支撑所述对象物的支撑部; 将所述激光照射于所述对象物的照射部; 以所述聚光区域的一部分在所述对象物的内部沿着所述假想面移动的方式,使所述支撑部及所述照射部的至少一方移动的移动机构;及 控制所述支撑部、所述照射部及所述移动机构的控制部, 所述照射部具有以垂直于所述激光的光轴的面内的所述聚光区域的一部分的形状具有长边方向的方式对所述激光进行成形的成形部, 所述长边方向是与所述聚光区域的一部分的移动方向交叉的方向。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人浜松光子学株式会社,其通讯地址为:日本静冈县;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。