科米特技术美国股份有限公司S·E·萨瓦斯获国家专利权
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龙图腾网获悉科米特技术美国股份有限公司申请的专利基于等离子体的晶圆处理系统的扇区分流获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114946008B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180008894.7，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权基于等离子体的晶圆处理系统的扇区分流是由S·E·萨瓦斯;A·德尚布里耶设计研发完成，并于2021-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于等离子体的晶圆处理系统的扇区分流在说明书摘要公布了：一种射频等离子体处理系统，包括：反应室；电极，具有电极对称轴，所述电极部署在所述反应室中；以及多个板，每个板具有导电层，在距电极表面的间隙处在所述电极的周界周围相对于所述电极对称轴以方位角部署在所述反应室中，所述多个板中的每个板通过可变电抗电路连接到电气地。
本发明授权基于等离子体的晶圆处理系统的扇区分流在权利要求书中公布了：1.一种射频等离子体处理系统，包括： 反应室，接收激发等离子体的射频功率； 电极，为所述等离子体供电并部署在所述反应室内； 多个传感器，部署在所述反应室内并且与所述电极的周界相邻地定位并且在所述电极的周界周围间隔开，每个传感器连接到相应的可变阻抗电路并且被配置为检测所述等离子体内的参数；以及 阻抗匹配网络，适于基于从所述多个传感器接收到的传感器信号的分析改变每个可变阻抗电路，以便在每个传感器与电气地之间提供指定的分流阻抗。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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