中微半导体设备(上海)股份有限公司王智昊获国家专利权
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龙图腾网获悉中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利一种接地环及其调节方法及等离子体处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114678247B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011547788.X，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种接地环及其调节方法及等离子体处理装置是由王智昊;吴磊设计研发完成，并于2020-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种接地环及其调节方法及等离子体处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种接地环及其调节方法及等离子体处理装置，在接地环上设置连接体，通过调节连接体个数和或更换不同宽度的连接体和或调节所述连接体的可分离连接的端部与环体之间的间隙宽度，改善了射频分布，有效的保证了刻蚀速率的均匀性。
本发明授权一种接地环及其调节方法及等离子体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种接地环，用于等离子体处理装置，其特征在于，包括： 第一环体， 第二环体， 至少一个连接体，所述连接体具有第一端部及与第一端部相对的第二端部，所述第一端部与第一环体连接，所述第二端部与第二环体连接，其中，所述第一端部与第一环体可分离连接和或第二端部与第二环体可分离连接；所述至少一个连接体用于调节所述连接体在接地环的位置处的射频功率分配比例； 其中，通过增加或减少所述连接体的个数和或更换不同宽度的连接体和或调节所述连接体的可分离连接的端部与环体之间的间隙宽度以调节所述射频功率分配比例；所述接地环的材质为导体。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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