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龙图腾网获悉卡尔蔡司SMT有限责任公司申请的专利用于安装光学系统的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114746812B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080084070.3，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权用于安装光学系统的方法是由J.多恩;S.弗里茨切;W.格林;P.尼兰设计研发完成，并于2020-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于安装光学系统的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及用于安装特别是光刻设备100A、100B的光学系统104的方法，包括以下步骤：a测量S700、S702光学系统104的部件K1–KN以便提供测量数据MEM、OEM，其中N1，b借助于所提供的测量数据MEM、OEM虚拟化S704部件K1–KN并根据虚拟化的部件K1–KN生成S708实际安装模型IMM，实际安装模型IMM包含虚拟化的部件K1–KN的处于虚拟安装状态下的虚拟实际位置Pactual、Pactual_KN‑1、Pactual_K2，c根据实际安装模型IMM和目标安装模型SMM确定S710校正措施，其中目标安装模型SMM包含虚拟化的部件K1–KN中的一个或多个处于虚拟安装状态下的虚拟目标位置Ptarget，以及d使用校正措施安装S712部件K1‑KN以形成光学系统104。

本发明授权用于安装光学系统的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于装配光学系统104的方法，包括以下步骤： a测量S700、S702所述光学系统104的单独部分K1–KN以达到提供测量数据MEM、OEM的目的，其中N1， b借助于所提供的测量数据MEM、OEM虚拟化S704所述单独部分K1–KN并通过将多个虚拟化的单独部分K1–KN几何形式地串接在一起根据所述虚拟化的单独部分K1–KN生成S708实际装配模型IMM，所述实际装配模型IMM包含所述虚拟化的单独部分K1–KN的处于虚拟装配状态下的虚拟实际位置Pactual、Pactual_KN-1、Pactual_K2， c基于所述实际装配模型IMM和目标装配模型SMM确定S710校正措施，所述目标装配模型SMM包含所述虚拟化的单独部分K1–KN中的一个或多个处于所述虚拟装配状态下的虚拟目标位置Ptarget，以及 d使用所述校正措施装配S712所述单独部分K1-KN以形成所述光学系统104。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人卡尔蔡司SMT有限责任公司，其通讯地址为：德国上科亨；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。