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株式会社三丰松浦心平获国家专利权

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龙图腾网获悉株式会社三丰申请的专利分析设备、分析方法、干涉测量系统和存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112629433B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011033769.5,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权分析设备、分析方法、干涉测量系统和存储介质是由松浦心平设计研发完成,并于2020-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。

分析设备、分析方法、干涉测量系统和存储介质在说明书摘要公布了:本发明涉及一种分析设备、分析方法、干涉测量系统和存储介质。该分析设备200包括:获取部210,用于从干涉测量设备获取基于具有多个不同波长的光的多个干涉图像;去除部230,用于通过去除多个干涉图像中的各像素的干涉信号中所包含的非干涉分量来输出干涉分量;转换部240,用于通过对干涉分量进行希尔伯特变换来生成分析信号;以及计算部250,用于基于干涉分量和分析信号,通过指定照射到参考面132和测量对象物体10的表面上的光的波长的相位梯度,来计算参考面132和测量对象物体10的表面之间的距离。

本发明授权分析设备、分析方法、干涉测量系统和存储介质在权利要求书中公布了:1.一种分析设备,用于分析波长扫描型干涉测量设备所生成的干涉图像,所述干涉测量设备用于生成通过用具有多个不同波长的光照射参考面和测量对象物体的表面所反射的参考光和测量光的所述干涉图像,所述分析设备包括: 获取部,用于从所述干涉测量设备获取基于具有所述多个不同波长的光的多个所述干涉图像; 去除部,用于通过去除多个所述干涉图像中的各像素的干涉信号中所包含的非干涉分量,来输出干涉分量; 转换部,用于通过对所述干涉分量进行希尔伯特变换,来生成分析信号;以及 计算部,用于基于所述干涉分量和所述分析信号,通过指定照射到所述参考面和所述测量对象物体的表面上的光的波长的相位梯度,来计算所述参考面和所述测量对象物体的表面之间的距离, 其中,所述计算部包括: 瞬时相位计算部,用于基于所述干涉分量和所述分析信号来计算所述干涉分量的瞬时相位; 相位梯度计算部,用于基于所述瞬时相位来计算所述干涉信号的相位梯度;以及 距离计算部,用于基于所述相位梯度,针对各像素来计算所述参考面和所述测量对象物体的表面之间的距离。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人株式会社三丰,其通讯地址为:日本神奈川县;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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