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龙图腾网获悉广东汇成真空科技股份有限公司申请的专利一种磁过滤弧镀膜装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112176292B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010983047.X，技术领域涉及：C23C14/32；该发明授权一种磁过滤弧镀膜装置是由李志荣;李迎春;王广文;赵丹;王彦磊设计研发完成，并于2020-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种磁过滤弧镀膜装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种磁过滤弧镀膜装置，包括：阴极电弧源，它含电弧靶座、靶块、永磁体和永磁体调节机构，靶块安装在靶座前端面上，靠近靶块的靶座后端面中央安放柱状永磁体，永磁体后面连接永磁体调节机构；真空镀膜室，其室内为真空设置；磁过滤弯管，其一端为与所述阴极电弧源的前端连接的入口端，另一端为与真空镀膜室的内腔连通的出口端；还包括：第一励磁线圈，安装在靶块周边，并位于阴极电弧源的外侧；第一励磁线圈用于与所述永磁体相配合对磁场进行改变；多个线圈模组，其分别设置在所述磁过滤弯管的入口端、拐弯处以及出口端。本发明能够减少阴极电弧靶等离子体中的大颗粒产生，层膜的沉积速率高、均匀性好，质量好。

本发明授权一种磁过滤弧镀膜装置在权利要求书中公布了：1.一种磁过滤弧镀膜装置，包括：阴极电弧源，它含电弧靶座、靶块、永磁体和永磁体调节机构，靶块安装在靶座前端面上，靠近靶块的靶座后端面中央安放柱状永磁体，永磁体后面连接永磁体调节机构；真空镀膜室，其室内为真空设置；磁过滤弯管，其一端为与所述阴极电弧源的前端连接的入口端，另一端为与真空镀膜室的内腔连通的出口端；其特征在于，还包括：第一励磁线圈，安装在靶块周边，并位于阴极电弧源的外侧；所述第一励磁线圈用于与所述永磁体相配合对磁场进行改变，以达到对靶面弧斑的运动进行控制；多个线圈模组，其分别设置在所述磁过滤弯管的入口端、拐弯处以及出口端；所述磁过滤弧镀膜装置还包括阳极筒，所述阳极筒的前端安装所述阴极电弧源，所述阳极筒的后端与所述磁过滤弯管连接，阳极筒上设有真空计和连通所述阳极筒内腔的布气管，从所述布气管输入的气体为施加了正电位的气体；所述布气管位于所述阳极筒内侧的部分沿所述阳极筒的内壁绕圈设置，并分布有若干出气孔；在布气管上安装有环型金属带，使其与靶表面成一定的角度；所述磁过滤弧镀膜装置还包括冷却管，所述冷却管绕设在所述磁过滤弯管的外壁上；所述磁过滤弧镀膜装置还包括第二励磁线圈，所述第二励磁线圈安装在所述磁过滤弯管的出口端与真空镀膜室的侧板之间。

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