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东京毅力科创株式会社岩永修儿获国家专利权

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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基片检查装置、基片检查系统和基片检查方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113994255B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080039553.1,技术领域涉及:G03F1/84;该发明授权基片检查装置、基片检查系统和基片检查方法是由岩永修儿;西山直设计研发完成,并于2020-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。

基片检查装置、基片检查系统和基片检查方法在说明书摘要公布了:提供一种对基片进行检查的基片检查装置,包括:取得部,其基于图像估计模型和经基片处理装置处理前的检查对象基片的拍摄图像,取得经所述基片处理装置处理后的所述检查对象基片的估计图像,其中,所述图像估计模型是使用多个基片各自的经所述基片处理装置处理前的拍摄图像和处理后的拍摄图像通过机器学习而生成的;和判断部,其基于经所述基片处理装置处理后的所述检查对象基片的拍摄图像和所述估计图像,判断该检查对象基片有无缺陷。

本发明授权基片检查装置、基片检查系统和基片检查方法在权利要求书中公布了:1.一种对基片进行检查的基片检查装置,包括: 取得部,其基于图像估计模型和经基片处理装置处理前的检查对象基片的拍摄图像,取得经所述基片处理装置处理后的所述检查对象基片的估计图像,其中,所述图像估计模型是使用多个基片各自的经所述基片处理装置处理前的拍摄图像和处理后的拍摄图像通过机器学习而生成的; 判断部,其基于经所述基片处理装置处理后的所述检查对象基片的拍摄图像和所述估计图像,判断该检查对象基片有无缺陷; 生成部,其使用多个基片各自的经所述基片处理装置处理前的拍摄图像和处理后的拍摄图像,通过机器学习生成图像估计模型;和 选择部,其选择模型生成用的图像对,该图像对是由所述处理前的基片的拍摄图像与所述处理后的基片的拍摄图像的组合构成的拍摄图像对, 所述选择部基于异常度来选择模型生成用的所述拍摄图像对,其中,所述异常度是使用所述处理前的基片的拍摄图像中的像素值的面内趋势与所述处理后的基片的拍摄图像中的像素值的面内趋势之间的相关分布决定的。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社,其通讯地址为:日本东京都;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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