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弗劳恩霍夫应用研究促进协会安东·梅尔尼科夫获国家专利权

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龙图腾网获悉弗劳恩霍夫应用研究促进协会申请的专利用于与体积流高效相互作用的MEMS获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115918106B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080102945.8,技术领域涉及:H04R19/00;该发明授权用于与体积流高效相互作用的MEMS是由安东·梅尔尼科夫;弗兰齐斯卡·沃尔;乔治·马里奥·蒙萨尔维·古亚拉曹;伯特·凯瑟;塞尔久·兰佳设计研发完成,并于2020-05-08向国家知识产权局提交的专利申请。

用于与体积流高效相互作用的MEMS在说明书摘要公布了:本发明涉及一种具有分层结构的MEMS,其包含空腔,该空腔设置于该分层结构中且通过该分层结构中的至少一个开口流体耦接至该分层结构的外部环境。该MEMS包含相互作用结构,该相互作用结构可移动地布置于第一MEMS平面中且在该空腔中沿着平面方向且被配置为与该空腔中的流体相互作用,其中该相互作用结构的移动与该流体通过该至少一个开口的移动因果地相关。该MEMS进一步包含主动结构,该主动结构布置于垂直于该平面方向布置的第二MEMS平面上,该主动结构机械地耦接至绝缘结构且被配置为使得该主动结构的电触点处的电信号与该主动结构的变形因果地相关,其中该主动结构的该变形与该流体的移动因果地相关。

本发明授权用于与体积流高效相互作用的MEMS在权利要求书中公布了:1.一种具有分层结构12的MEMS,其包含: 空腔16,其设置于该分层结构12中且通过该分层结构12中的至少一个开口流体耦接至该分层结构12的外部环境; 相互作用结构24,其沿着平面方向可移动地设置于第一MEMS平面及该空腔16中且被配置为与该空腔16中的流体相互作用,其中该相互作用结构24的移动与该流体通过该至少一个开口的移动因果地相关; 主动结构26,其设置于垂直于该平面方向的第二MEMS平面中且机械地耦接至该相互作用结构24;且被配置为使得该主动结构的电触点处的电信号32与该主动结构26的变形因果地相关;其中该主动结构26的该变形与该流体的该移动因果地相关; 其中所述第一MEMS平面和所述第二MEMS平面是沿着垂直于所述平面方向的方向的不同平面。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人弗劳恩霍夫应用研究促进协会,其通讯地址为:德国慕尼黑;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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