ASML荷兰有限公司J·M·卢肯斯获国家专利权
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龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利用于控制液滴形成的装置和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113812214B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080033893.3，技术领域涉及：H05G2/00；该发明授权用于控制液滴形成的装置和方法是由J·M·卢肯斯设计研发完成，并于2020-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于控制液滴形成的装置和方法在说明书摘要公布了：用于控制用于生成EUV辐射的液滴形成的装置和方法，包括产生指向辐照区域和液滴源的激光束的装置。该液滴源包括具有喷嘴的毛细管和用于在该毛细管中的液体源材料中产生干扰的电致动元件。该液滴源产生流，该流破碎为液滴，当它们朝着该辐照区域前进时，该液滴进而聚结为更大的液滴。该电致动元件由与控制所述液滴生成聚结过程的该液滴源的至少一个谐振相关联的波形驱动。
本发明授权用于控制液滴形成的装置和方法在权利要求书中公布了：1.一种源材料分发器，包括： 毛细管；以及 电致动元件，所述电致动元件机械地耦合至所述毛细管并且与所述毛细管同轴布置， 所述毛细管和所述电致动元件中的至少一个的至少一个尺寸被选择为使得所述源材料分发器在周期控制信号的频率分量处具有谐振模式， 其中所述周期控制信号使所述电致动元件在所述毛细管中生成具有与所述周期控制信号的波分量的频率基本相同的波频的纵波，所述纵波沿着所述毛细管的长度传播以在轴向方向上位移所述毛细管的尖端，以促进离开所述毛细管尖端中的喷嘴孔口的源材料射流的瑞利破碎。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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