浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学冯雪获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学申请的专利封装测试方法和设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN110993521B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201911266921.1,技术领域涉及:H01L21/66;该发明授权封装测试方法和设备是由冯雪;张柏诚;刘兰兰;付浩然;蒋晔设计研发完成,并于2019-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本封装测试方法和设备在说明书摘要公布了:本申请涉及一种封装测试方法和设备,利用液态金属的流动性,将液态金属作为封装测试材料,以液态金属表面氧化后的灰度值和或电阻值的变化作为判断依据,通过液态金属在透过待测封装层进入封装内部的水和空气的作用下,发生由液态金属金属相到金属氧化物的转变,通过获取的待测样品的灰度值或电阻值得到待测样品的水氧透过率,由此判断待测封装层的水氧阻隔效果。
本发明授权封装测试方法和设备在权利要求书中公布了:1.一种封装测试方法,其特征在于,所述方法包括: 提供测试样品,所述测试样品的柔性衬底层上覆盖有液态金属层,所述液态金属层外包覆有待测封装层;所述柔性衬底层采用微结构;所述微结构,用于防止所述待测封装层在柔性变形过程中坍塌;所述待测封装层采用柔性封装层; 对所述测试样品进行形变测试;所述形变测试包括拉伸或弯折; 通过获取的所述测试样品的灰度值或电阻值得到所述待测封装层在不同形变状态下的水氧透过率; 根据所述水氧透过率确定所述待测封装层的封装质量。
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