应用材料公司D·黄获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利具有嵌入式加热器的面板获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110808201B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910717559.9，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权具有嵌入式加热器的面板是由D·黄;张宇星;K·高希;K·阿拉亚瓦里;A·K·班塞尔设计研发完成，并于2019-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有嵌入式加热器的面板在说明书摘要公布了：公开了一种用于处理腔室的面板。所述面板具有主体，所述主体具有多个孔隙，所述多个孔隙穿过所述主体形成。挠曲件形成在所述主体中，部分地包围所述多个孔隙。切口在与所述挠曲件的公共半径上穿过所述主体形成。一个或多个孔口从所述切口的径向内表面延伸到所述主体的外表面。加热器设置在所述挠曲件与所述多个孔隙之间。所述挠曲件和所述切口是限制来自所述加热器的热传递从其经过的热扼流器。
本发明授权具有嵌入式加热器的面板在权利要求书中公布了：1.一种处理腔室，包括： 主体，所述主体具有侧壁和底部； 盖，所述盖耦接到所述主体，以在其中限定处理容积；以及 面板，所述面板耦接到所述盖，所述面板包括： 主体，所述主体具有第一表面、第二表面和在所述第一表面与所述第二表面之间延伸的外表面； 多个孔隙，所述多个孔隙穿过所述面板的主体形成在所述第一表面与所述第二表面之间； 挠曲件，所述挠曲件环绕所述多个孔隙，所述挠曲件部分地包围所述多个孔隙；以及 切口，所述切口穿过所述面板的主体邻接所述挠曲件形成，所述切口和所述挠曲件具有公共半径， 其中所述挠曲件由一系列交错通道形成，所述交错通道部分地穿过所述面板的主体， 其中所述切口具有径向内表面和径向外表面，且 其中所述切口和所述挠曲件形成环状，使所述面板的主体被加热时热膨胀而没有过应力。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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