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龙图腾网获悉山东省科学院激光研究所;山东省特种设备检验研究院集团有限公司申请的专利加速度传感器及其制备方法、加速度传感系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120468458B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510968519.7，技术领域涉及：G01P15/093；该发明授权加速度传感器及其制备方法、加速度传感系统是由王舒蒙;朱波;柳洋;申孝民;高相宇;张伟;王兆伟设计研发完成，并于2025-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本加速度传感器及其制备方法、加速度传感系统在说明书摘要公布了：本申请涉及加速度检测技术领域，具体涉及一种加速度传感器及其制备方法、加速度传感系统。其中，加速度传感器包括：衬底；第一谐振腔，可移动的设置于衬底；第二谐振腔，设置于衬底，第二谐振腔与第一谐振腔耦合且错位设置；其中，在加速度传感器受到加速度的情况下，第一谐振腔相对于第二谐振腔移动，以使第一谐振腔与第二谐振腔之间的耦合长度发生变化；总线波导，设置于衬底，总线波导与第二谐振腔耦合，总线波导被配置为接收激光并输出耦合长度对应的光信号。这样，能够提高对加速度的探测精度，减少外界环境变化对加速度传感测量带来的影响。

本发明授权加速度传感器及其制备方法、加速度传感系统在权利要求书中公布了：1.一种加速度传感器，其特征在于，包括： 衬底（21）； 第一谐振腔（22），可移动的设置于所述衬底（21）； 第二谐振腔（23），设置于所述衬底（21），所述第二谐振腔（23）与所述第一谐振腔（22）耦合且错位设置； 其中，在所述加速度传感器受到加速度的情况下，所述第一谐振腔（22）相对于所述第二谐振腔（23）移动，以使所述第一谐振腔（22）与所述第二谐振腔（23）之间的耦合长度发生变化； 总线波导（24），设置于所述衬底（21），所述总线波导（24）与所述第二谐振腔（23）耦合，所述总线波导（24）被配置为接收激光并输出所述耦合长度对应的光信号； 所述第一谐振腔（22）和所述第二谐振腔（23）均为跑道型谐振腔； 所述第一谐振腔（22）和所述第二谐振腔（23）的侧壁长度均为L； 所述耦合长度的取值范围为； 第一悬臂梁（25），设置于所述衬底（21），所述第一悬臂梁（25）的第一端与所述衬底（21）连接，所述第一悬臂梁（25）的第二端与所述第一谐振腔（22）连接； 第二悬臂梁（26），设置于所述衬底（21），所述第二悬臂梁（26）的第一端与所述衬底（21）连接，所述第二悬臂梁（26）的第二端与所述第一谐振腔（22）连接； 在所述加速度传感器受到加速度的情况下，所述第一悬臂梁（25）和所述第二悬臂梁（26）发生伸缩，以带动所述第一谐振腔（22）相对于所述第二谐振腔（23）移动； 容置腔（27），开设于所述衬底（21）； 所述第一悬臂梁（25）的第一端与所述容置腔（27）的第一腔壁连接； 所述第二悬臂梁（26）的第一端与所述容置腔（27）的第二腔壁连接； 所述第一腔壁与所述第二腔壁为所述容置腔（27）相对的腔壁。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人山东省科学院激光研究所;山东省特种设备检验研究院集团有限公司，其通讯地址为：272073 山东省济宁市高新区海川路46号激光所综合楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。