买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉青岛思锐智能科技股份有限公司申请的专利等离子体增强原子层沉积设备及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120425321B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510926911.5，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权等离子体增强原子层沉积设备及方法是由张昊;国政;李英万;刘连瑞;姚立柱设计研发完成，并于2025-07-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本等离子体增强原子层沉积设备及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种等离子体增强原子层沉积设备及方法，设备包括工艺腔室、喷淋盘、绝缘隔离盘、射频电源和升降驱动机构，工艺腔室内支撑有晶圆，喷淋盘设置在工艺腔室内部，喷淋盘位于晶圆的上方，绝缘隔离盘位于喷淋盘与工艺腔室的内顶壁之间，绝缘隔离盘包括上下排布的第一绝缘隔离盘和第二绝缘隔离盘，第一绝缘隔离盘与工艺腔室固定连接，第二绝缘隔离盘与喷淋盘固定连接，射频电源用于施加射频电压使得通入的工艺气体发生电离产生等离子体，喷淋盘作为正极，工艺腔室作为负极，升降驱动机构用于驱动喷淋盘和第二绝缘隔离盘做升降运动以使得第二绝缘隔离盘与第一绝缘隔离盘密封贴合或者分离，避免射频电源施加射频电压时正负极导通。

本发明授权等离子体增强原子层沉积设备及方法在权利要求书中公布了：1.一种等离子体增强原子层沉积设备，其特征在于，包括工艺腔室（1）、喷淋盘（2）、绝缘隔离盘（3）、射频电源（4）和升降驱动机构（5）， 所述工艺腔室（1）上开设有第一进气口（101）和抽气口（102），所述工艺腔室（1）内支撑有晶圆（7），所述第一进气口（101）用于向所述工艺腔室（1）内部通入前驱体， 所述喷淋盘（2）设置在所述工艺腔室（1）内部，所述喷淋盘（2）位于所述晶圆（7）的上方且与所述晶圆（7）保持距离，所述喷淋盘（2）用于向所述晶圆（7）表面喷淋工艺气体， 所述绝缘隔离盘（3）设置在所述工艺腔室（1）内部，所述绝缘隔离盘（3）位于所述喷淋盘（2）与所述工艺腔室（1）的内顶壁之间，用于将所述喷淋盘（2）和所述工艺腔室（1）电隔离，所述绝缘隔离盘（3）包括上下排布的第一绝缘隔离盘（31）和第二绝缘隔离盘（32），所述第一绝缘隔离盘（31）与所述工艺腔室（1）固定连接，所述第二绝缘隔离盘（32）与所述喷淋盘（2）固定连接， 所述射频电源（4）与所述喷淋盘（2）电连接，所述喷淋盘（2）作为正极，所述工艺腔室（1）作为负极，所述射频电源（4）用于施加射频电压使得所述工艺腔室（1）内的所述工艺气体发生电离产生等离子体， 所述升降驱动机构（5）用于驱动所述喷淋盘（2）和所述第二绝缘隔离盘（32）做升降运动以使得所述第二绝缘隔离盘（32）与所述第一绝缘隔离盘（31）密封贴合或者分离，所述工艺腔室（1）内通入所述前驱体时，所述第二绝缘隔离盘（32）与所述第一绝缘隔离盘（31）密封贴合；所述喷淋盘（2）喷淋所述工艺气体时，所述第二绝缘隔离盘（32）与所述第一绝缘隔离盘（31）分离。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人青岛思锐智能科技股份有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市自由贸易试验区青岛片区牧马山路11号3#楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。