北京航空航天大学;北京瀚维玉科技有限公司高明获国家专利权
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龙图腾网获悉北京航空航天大学;北京瀚维玉科技有限公司申请的专利氧化锌掺杂靶材制备方法、靶材、薄膜制备方法及薄膜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120117889B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510621662.9，技术领域涉及：C04B35/453；该发明授权氧化锌掺杂靶材制备方法、靶材、薄膜制备方法及薄膜是由高明;谢玉山设计研发完成，并于2025-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本氧化锌掺杂靶材制备方法、靶材、薄膜制备方法及薄膜在说明书摘要公布了：本发明涉及陶瓷材料技术领域，具体为氧化锌掺杂靶材制备方法、靶材、薄膜制备方法及薄膜，包括将原料粉经砂磨得到细化粉，再将细化粉制成浆料后通过喷雾造粒得到喷雾粉，将喷雾粉进行冷等静压制得素坯，对素坯进行加热脱胶后，进行高温烧结后得到靶材；喷雾造粒过程细化粉的D50粒径为0.5μm~0.65μm，粒径分布范围为1.37~1.41，浆料的粘度为500cp~650cp；本发明靶材过程采用的工艺优化方案实现了从经验试错到模型表征、多变量控制的优化方式，并实现了对粉体粒度及分布的可控性，提高后续工艺的合理性，所制备的靶材实现了高致密度、硬度和低电阻率，所制备的薄膜性能好，压电系数高。
本发明授权氧化锌掺杂靶材制备方法、靶材、薄膜制备方法及薄膜在权利要求书中公布了：1.一种氧化锌掺杂靶材制备方法，所述氧化锌掺杂靶材为镁掺杂氧化锌靶材，掺杂剂为MgO，制备方法包括将原料粉经砂磨得到细化粉，再将细化粉制成浆料后通过喷雾造粒得到喷雾粉，将喷雾粉进行冷等静压制得素坯，对素坯进行加热脱胶后，进行高温烧结得到靶材，其特征在于，喷雾造粒的过程，细化粉的D50粒径为0.5μm~0.65μm，粒径分布范围为1.37~1.41，浆料的粘度为500cp~650cp，雾化器频率大于320Hz，所述喷雾粉的D50粒径为18~24μm，喷雾粉形貌为实心粉，粒径分布范围为0.98~1.1，粒径分布范围=； 冷等静压压力为250MPa； 所述加热脱胶为真空脱胶，在升温到220℃以后，升温速率为0.1℃min，并且每升温30℃后保温120min，脱胶最高温度设置为460℃； 高温烧结的温度为1400℃。
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