北京艾博智业离子技术有限公司李英东获国家专利权
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龙图腾网获悉北京艾博智业离子技术有限公司申请的专利一种具有可调聚焦离子枪的离子减薄仪获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119958934B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510198531.4,技术领域涉及:G01N1/28;该发明授权一种具有可调聚焦离子枪的离子减薄仪是由李英东设计研发完成,并于2025-02-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有可调聚焦离子枪的离子减薄仪在说明书摘要公布了:一种具有可调聚焦离子枪的离子减薄仪,包括气体导入单元、离子发生单元、调节单元以及高压供给单元;所述气体导入单元将气体均匀导入离子发生单元内;所述离子发生单元电离气体发射离子束;所述调节单元调节离子束射出的方向、角度以及聚焦位置。本发明通过设置调节单元进行离子束射出的方向、角度以及聚焦位置的调节,可以直接将离子束聚焦到离子减薄样品室的试样的中心减薄区,优化离子减薄样品室每次放入试样时都需要进行调节角度的问题。同时,套管和绝缘套管的环形凹槽和平台设置,可以使气体通过上下两端更均匀的进入离子发生单元的内腔,使离子束的形成与发射更加平稳与高效。
本发明授权一种具有可调聚焦离子枪的离子减薄仪在权利要求书中公布了:1.一种具有可调聚焦离子枪的离子减薄仪,其特征在于,包括气体导入单元、离子发生单元、调节单元以及高压供给单元;所述气体导入单元将气体均匀导入离子发生单元内;所述离子发生单元电离气体发射离子束;所述调节单元调节离子束射出的方向、角度以及聚焦位置; 所述气体导入单元包括套管、绝缘套管、螺纹直通接头;所述套管上设环形的凹槽,用于使由螺纹直通接头通入的气体均匀充满套管的内腔;所述绝缘套管上设第一平台和第二平台,用于使气体通过绝缘套管上下两端均匀稳定的进入离子发生单元的内腔; 所述离子发生单元包括阳极、阳极管、阴极片以及前端盖,所述阳极管与所述阳极之间设调节单元,对阳极和阳极管之间距离的进行调整; 所述调节单元包括调节垫片,通过对阳极和阳极管之间距离的调整,来优化阳极与阴极片之间形成的电场,以调节离子束射出的方向、角度以及聚焦位置; 所述绝缘套管侧壁外表面为阶梯状,靠近高压供给单元的一端为上阶梯,远离高压供给单元的一端为下阶梯,上阶梯外径大于下阶梯外径,上阶梯与下阶梯通过斜面过渡;所述第一平台设在上阶梯的上下端,所述第二平台设在下阶梯的上下端;第一平台位于所述套管与所述螺纹直通接头连通处正下方,所述第二平台对应所述第一平台平行设置;所述第一平台的宽度大于所述套管上环形的凹槽的宽度;第一平台、第二平台以及上下阶梯的过渡斜面与套管之间形成间隙,用于气体通过。
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