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龙图腾网获悉中国科学院近代物理研究所申请的专利一种紧凑型复合真空泵获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119982456B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510166847.5，技术领域涉及：F04B41/06；该发明授权一种紧凑型复合真空泵是由李长春;蒙峻;杨伟顺;魏宁斐;姚鹏;罗成;蔺晓建;万亚鹏;马向利;刘建龙;焦纪强;柴振;谢文君;朱小荣设计研发完成，并于2025-02-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种紧凑型复合真空泵在说明书摘要公布了：本发明涉及粒子加速器技术领域，尤其涉及一种紧凑型复合真空泵，本发明实施例提供的紧凑型复合真空泵包括溅射离子泵和钛丝组件，溅射离子泵包括泵壳，具有空腔及与空腔连通的第一接口和第二接口，第一接口用于连接待抽真空腔体；钛丝组件与泵壳的第二接口连接，钛丝组件的钛丝通过升华在空腔内沉积形成具有吸附作用的第一钛膜，本发明实施例提供的紧凑型复合真空泵在保证可以获得极高真空的同时有效减少对安装空间的占用，方便其他元件的排布。

本发明授权一种紧凑型复合真空泵在权利要求书中公布了：1.一种紧凑型复合真空泵，其特征在于，包括： 溅射离子泵（1），包括泵壳（11），所述泵壳（11）具有空腔及与所述空腔连通的第一接口（111）和第二接口（112），所述第一接口（111）用于连接待抽真空腔体； 钛丝组件（2），与所述泵壳（11）的所述第二接口（112）连接，所述钛丝组件（2）的钛丝（23）通过升华在所述空腔内沉积形成具有吸附作用的第一钛膜； 所述溅射离子泵（1）还包括： 高压头（12），设置于所述泵壳（11）上，所述高压头（12）电连接控制器，用于为所述溅射离子泵（1）提供高压； 磁铁组件（13），设置于所述空腔内，用于在所述空腔内形成维持潘宁放电的磁场，以使气体分子与旋转的电子云碰撞生成离子； 阳极组件（14）和阴极钛板（15），设置于所述空腔内，并电连接所述高压头（12），所述阳极组件（14）和所述阴极钛板（15）之间形成电场，以使所述离子轰击在所述阴极钛板（15）上，并产生溅射钛原子，所述溅射钛原子在所述阳极组件（14）和所述阴极钛板（15）上形成具有吸附作用的第二钛膜； 所述泵壳（11）的空腔内设置有隔板（16），所述隔板（16）将所述空腔分隔成第一腔室（113）和第二腔室（114），所述隔板（16）上设置有连通所述第一腔室（113）和所述第二腔室（114）的连通口（161）；所述钛丝组件（2）设置于所述第一腔室（113）内，用于在所述第一腔室（113）内形成所述第一钛膜；所述磁铁组件（13）、阳极组件（14）和所述阴极钛板（15）设置于所述第二腔室（114）内。

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