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龙图腾网获悉上海稷以科技有限公司申请的专利晶圆用凸片检测系统及检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119601485B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411730543.9，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权晶圆用凸片检测系统及检测方法是由杨平设计研发完成，并于2024-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆用凸片检测系统及检测方法在说明书摘要公布了：本发明提出了一种晶圆用凸片检测系统及检测方法，该系统包括：一号载台和二号载台，沿Z向依次分布且通过一号连接件连接；二号载台通过二号连接件与直线运动机构连接；其中，连接件与二号载台、直线运动机构均可拆卸连接；直线运动机构固定于腔体内壁，并可带动二号载台沿着X向移动；二号载台上开设透射孔、若干个沿Y向分布的调节孔；二号载台置于晶圆架的上方，并置于晶圆架的敞开端；晶圆架包括沿Z向依次分布的若干层支架；最后一层支架上设置接收传感器，接收传感器的接收端与发射传感器正对设置；每层支架上均承接一片晶圆；发射传感器，设置于一号载台，且其发射端朝向透射孔设置。本发明可实现对晶圆的凸片检测，且可对不同尺寸的晶圆进行检测。

本发明授权晶圆用凸片检测系统及检测方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆用凸片检测系统，其特征在于，包括： 一号载台（1）和二号载台（2），沿Z向依次分布且通过一号连接件连接；所述二号载台（2）通过二号连接件（3）与直线运动机构（5）连接； 其中，所述二号连接件（3）与二号载台（2）、直线运动机构（5）均可拆卸连接；所述直线运动机构（5）固定于腔体内壁，并可带动二号载台沿着X向移动； 所述二号载台（2）上开设透射孔（21）、若干个沿Y向分布的调节孔；所述二号载台（2）置于晶圆架（7）的上方，并置于晶圆架（7）的敞开端；所述晶圆架（7）包括沿Z向依次分布的若干层支架；最后一层支架上设置接收传感器（8），所述接收传感器（8）的接收端与发射传感器正对设置；每层支架上均开设一个定位槽，每个定位槽内均承接一片晶圆； 所述发射传感器，设置于一号载台（1），且其发射端朝向透射孔（21）设置； 还包括当腔体内承接另一尺寸晶圆的晶圆架需要检测时： 调节直线运动机构（5），以沿着X向移动二号载台（2），以使得发射传感器移动至待检测晶圆架的敞开端； 改变二号连接件（3）在二号载台（2）上的安装位置，以沿Y向移动二号载台（2），以使得发射传感器位于待检测晶圆架的外部，并使得发射传感器与待检测晶圆架上的接收传感器正对。

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