东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司顾佳获国家专利权
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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利偏转角测量组件、倾斜度测量机构及半导体检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223332355U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422894924.2，技术领域涉及：G01B11/26；该实用新型偏转角测量组件、倾斜度测量机构及半导体检测设备是由顾佳;石佩茹设计研发完成，并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本偏转角测量组件、倾斜度测量机构及半导体检测设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种偏转角测量组件、倾斜度测量机构及半导体检测设备，偏转角测量组件用于获取样品台的待测表面相对于基准面得分偏转角度，偏转角测量组件包括光源、反光模块与探测器，光源用于激发垂直于一基准面的入射光束；反光模块用于与样品台连接，具有第一反射面及第二反射面，以允许入射光束经过第一反射面及第二反射面的两次反射后形成出射光束；探测器用于接收出射光束，以使出射光束在探测器上形成测试光斑。其中，探测器预形成有基准光斑，以便通过测量测试光斑相对于基准光斑的偏移量来确定待测表面相对于基准面的偏转角度。
本实用新型偏转角测量组件、倾斜度测量机构及半导体检测设备在权利要求书中公布了：1.一种偏转角测量组件，用于获取样品台的待测表面相对于基准面的偏转角度，特征在于，所述偏转角测量组件包括： 光源，用于激发垂直于一基准面的入射光束； 反光模块，与所述样品台连接，具有第一反射面及第二反射面，以允许所述入射光束依次经过所述第一反射面及所述第二反射面的反射后，形成出射光束； 探测器，用于接收所述出射光束，以使所述出射光束在所述探测器上形成测试光斑； 其中，所述探测器预形成有基准光斑，以便通过测量所述测试光斑相对于所述基准光斑的偏移量，来确定所述待测表面相对于所述基准面的偏转角度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区经海四路156号院12号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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