重庆长捷电子有限公司杨成岗获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆长捷电子有限公司申请的专利一种旋转式晶圆烘干机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223332060U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422814231.8，技术领域涉及：F26B11/08；该实用新型一种旋转式晶圆烘干机是由杨成岗设计研发完成，并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种旋转式晶圆烘干机在说明书摘要公布了：本实用新型适用于晶圆加工技术领域，提供了一种旋转式晶圆烘干机，包括机体，所述机体的顶端开设有烘干腔，所述烘干腔内安装有转盘，所述转盘内设置有放置机构，所述机体位于烘干腔的下方开设有机箱腔，所述机箱腔的顶端设置有旋转机构，所述机箱腔位于旋转机构的一侧安装有氮气加热机构；通过底部旋转机构带动转盘转动，配合放置机构可以使硅片上的水份会被快速甩出，大大提高了烘干效率，通过设置有氮气加热机构，氮气可以将氧气从烘干环境中排除，从而减少硅片表面的氧化反应，这种旋转式晶圆烘干机结构简单，操作方便，能够高效、均匀地对晶圆进行烘干，同时降低能耗和减少二次污染的风险，提高了烘干效率和产品质量。
本实用新型一种旋转式晶圆烘干机在权利要求书中公布了：1.一种旋转式晶圆烘干机，其特征在于：包括机体1，所述机体1的顶端开设有烘干腔，所述烘干腔内安装有转盘2，所述转盘2内设置有放置机构3，所述机体1位于烘干腔的下方开设有机箱腔，所述机箱腔的顶端设置有旋转机构4，所述机箱腔位于旋转机构4的一侧安装有氮气加热机构5。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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