无锡富创得精密设备有限公司刘孟飞获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡富创得精密设备有限公司申请的专利一种掩膜板多维调整平台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223333271U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422821577.0，技术领域涉及：G03F1/84；该实用新型一种掩膜板多维调整平台是由刘孟飞;郑青斌;宁坚;茅茂;曹金星;弓利军设计研发完成，并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种掩膜板多维调整平台在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体加工设备，具体为一种掩膜板多维调整平台，包括安装在调整架上的平移调整组件、装配在平移调整组件上的旋转马达，以及安装在旋转马达输出端用于放置掩膜板的承载组件；需要校准及调整掩膜板的放置位置时，平移调整组件进行驱动旋转马达进行X轴Y轴方向的调整；旋转马达驱动承载组件进行转动，以确保掩膜板位置正确；本实用新型，整体采用模块化结构，合理利用空间，节省设备空间，并且优化结构特征，将平移与转动结合，减少设备内部线路及设备复杂度，确保掩膜板在检测作业过程中的位置准确，保证掩膜板在规定的识别位置，减少失误概率，提高整体的掩膜板检测效率。
本实用新型一种掩膜板多维调整平台在权利要求书中公布了：1.一种掩膜板多维调整平台，其特征在于，包括安装在调整架610上的平移调整组件620、装配在平移调整组件620上的旋转马达630，以及安装在旋转马达630输出端用于放置掩膜板500的承载组件650； 需要校准及调整掩膜板500的放置位置时，平移调整组件620进行驱动旋转马达630进行X轴Y轴方向的调整；旋转马达630驱动承载组件650进行转动，以确保掩膜板500位置正确。
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