迪盛微(江苏)装备科技有限公司陈国军获国家专利权
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龙图腾网获悉迪盛微(江苏)装备科技有限公司申请的专利一种多台面曝光装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223333276U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422815762.9,技术领域涉及:G03F7/20;该实用新型一种多台面曝光装置是由陈国军;吴景舟;马迪设计研发完成,并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多台面曝光装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种多台面曝光装置,属于曝光装置技术领域。该曝光装置包括:工作台、多个台面、多个驱动机构、曝光组件、运动组件及光幕检测组件。工作台包括上下料位及曝光位,将待曝光工件放置在台面上,在驱动机构的驱动作用下移动到曝光位,通过曝光组件和运动组件的配合进行曝光,光幕检测组件用于对上下料位是否有遮挡物进行检测。本实用新型的多台面曝光装置,能够在保证曝光效率的同时保障操作人员的人身安全。
本实用新型一种多台面曝光装置在权利要求书中公布了:1.一种多台面曝光装置,其特征在于,包括: 工作台,包括用于待曝光工件上下料的上下料位以及用于对所述待曝光工件进行曝光的曝光位,所述上下料位和所述曝光位沿第一水平方向相对设置; 多个台面,沿第二水平方向依次排布在所述工作台上,所述第二水平方向垂直于所述第一水平方向,所述台面用于放置所述待曝光工件; 多个驱动机构,每一所述驱动机构对应每一所述台面且用于带动所述台面在所述上下料位和所述曝光位之间运动; 曝光组件,用于对所述待曝光工件进行曝光; 运动组件,设置在所述曝光位且与所述曝光组件连接,所述运动组件可沿所述第一水平方向运动,所述曝光组件在所述运动组件上沿所述第二水平方向运动;及 光幕检测组件,设置在所述上下料位,用于监测所述上下料位处是否有遮挡物,所述光幕检测组件与所述驱动机构、所述运动组件均通信连接。
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