杭州积海半导体有限公司孙今一获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州积海半导体有限公司申请的专利高密度等离子体化学气相沉积系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223329384U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422810454.7，技术领域涉及：C23C16/50；该实用新型高密度等离子体化学气相沉积系统是由孙今一;李春锋设计研发完成，并于2024-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本高密度等离子体化学气相沉积系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种高密度等离子体化学气相沉积系统，包括：工艺腔室，设置有进气口和抽气口；进气管路，与所述进气口连通且所述进气管路上设置有进气阀；抽气管路，其上设置有真空泵及关断阀，所述真空泵通过所述关断阀与所述抽气口连通；控制组件，包括通信连接的检测部件及控制部件，所述检测部件用于检测所述关断阀的开闭，所述控制部件用于根据所述检测部件的检测结果控制所述进气阀的开闭。在本实用新型中，当所述检测部件检测到所述关断阀处于开启状态时，通过所述控制部件控制所述进气阀保持关闭，能够有效地避免所述工艺腔室因意外进气导致生产批被污染，以及避免了所述真空泵因意外进气而遭到损坏。
本实用新型高密度等离子体化学气相沉积系统在权利要求书中公布了：1.一种高密度等离子体化学气相沉积系统，其特征在于，包括： 工艺腔室，设置有进气口和抽气口； 进气管路，与所述进气口连通且所述进气管路上设置有进气阀； 抽气管路，其上设置有真空泵及关断阀，所述真空泵通过所述关断阀与所述抽气口连通； 控制组件，包括通信连接的检测部件及控制部件，所述检测部件用于检测所述关断阀的开闭，所述控制部件用于根据所述检测部件的检测结果控制所述进气阀的开闭。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州积海半导体有限公司，其通讯地址为：311225 浙江省杭州市钱塘新区义蓬街道江东大道3899号709-7号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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