成都新紫光半导体科技有限公司蔡坤峯获国家专利权
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龙图腾网获悉成都新紫光半导体科技有限公司申请的专利扩散炉获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223329430U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422809878.1，技术领域涉及：C30B31/06；该实用新型扩散炉是由蔡坤峯设计研发完成，并于2024-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本扩散炉在说明书摘要公布了：本公开涉及一种扩散炉，包括：底座；炉壁，连接在所述底座的上方，所述炉壁与所述底座的上表面合围形成有容纳腔；驱动部，设置在所述底座上且位于所述容纳腔中，所述驱动部的上方用于连接晶舟；第一气道，所述第一气道的一端用于连通外部的氮气，并用于将氮气依次经由所述底座和所述驱动部导向晶舟；和第二气道，设置在所述驱动部中且与所述第一气道连通，能够使所述第一气道中的部分气体通过所述第二气道直接进入所述容纳腔中。驱动部位于晶舟下方，且第二气道与第一气道相连通，能够让氮气由驱动部中的第二气道直接进入容纳腔中，使氮气可以充斥容纳腔中的底部，使冷凝生成的化学副产物的产量降低，有效延长扩散炉的保养周期，降低维护成本。
本实用新型扩散炉在权利要求书中公布了：1.一种扩散炉，其特征在于，包括： 底座； 炉壁，连接在所述底座的上方，所述炉壁与所述底座的上表面合围形成有容纳腔； 驱动部，设置在所述底座上且位于所述容纳腔中，所述驱动部的上方用于连接晶舟并带动所述晶舟旋转； 第一气道，所述第一气道的一端用于连通外部的氮气，并用于将氮气依次经由所述底座和所述驱动部导向晶舟；和 第二气道，设置在所述驱动部中且与所述第一气道连通，能够使所述第一气道中的部分气体通过所述第二气道直接进入所述容纳腔中。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人成都新紫光半导体科技有限公司，其通讯地址为：611730 四川省成都市成都高新区尚雅路7号附1号1楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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