宁波元物应用材料有限公司刘鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波元物应用材料有限公司申请的专利一种工件支撑点切换装置及化学气相沉积炉获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223329382U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422784269.5,技术领域涉及:C23C16/458;该实用新型一种工件支撑点切换装置及化学气相沉积炉是由刘鹏;徐文立;陈可杰;李婷设计研发完成,并于2024-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种工件支撑点切换装置及化学气相沉积炉在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种工件支撑点切换装置,涉及化学气相沉积技术领域,包括封头组件;支撑组件设置于所述封头组件上,所述支撑组件包括位于所述封头组件上方的多个支撑柱,所述支撑柱用于支撑工件;换位组件包括高度切换驱动和多个换位部,所述换位部与所述支撑柱平行布置,所述高度切换驱动能够驱动多个所述换位部同步升降。本实用新型还提供一种化学气相沉积炉,包括炉体和如上所述的工件支撑点切换装置,所述支撑组件和换位组件位于所述炉体的反应腔内,所述封头组件封堵于所述反应腔的开口处。本实用新型更换工件支撑点时,省时、省力,且提高了化学气相沉积效率。
本实用新型一种工件支撑点切换装置及化学气相沉积炉在权利要求书中公布了:1.一种工件支撑点切换装置,其特征在于:包括: 封头组件; 支撑组件,设置于所述封头组件上,所述支撑组件包括位于所述封头组件上方的多个支撑柱,所述支撑柱用于支撑工件; 换位组件,其包括高度切换驱动和多个换位部,所述换位部与所述支撑柱平行布置,所述高度切换驱动能够驱动多个所述换位部同步升降。
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