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龙图腾网获悉上海稷以科技有限公司申请的专利反应腔用可调定位装置及其使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119480601B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411607685.6，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权反应腔用可调定位装置及其使用方法是由杨平设计研发完成，并于2024-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本反应腔用可调定位装置及其使用方法在说明书摘要公布了：本发明提出了一种反应腔用可调定位装置及其使用方法，该装置包括：上盖、套设于上腔内的反应腔，上盖设置于上腔的底面并连通上腔；一号槽和二号槽，相对设置以承接挡块；一号槽开设于上盖的内环面，二号槽开设于反应腔的外环面；一号槽的内环面和二号槽的外环面之间形成预设间隙；挡块，其数量至少为2，沿着一号槽、二号槽移动；调节孔，与挡块对应设置，其开设于上盖的上表面并连通一号槽，其沿径向延伸，其内放置调节件；调节件，用于沿径向调节挡块，其与挡块对应设置且与挡块连接；上腔上开设维护窗口；及定位孔。本发明通过改进反应腔的结构并增加四周挡块，维护人员可通过调整卡钳位置实现快速开腔来维护工艺腔内部，从而缩短PM时间。

本发明授权反应腔用可调定位装置及其使用方法在权利要求书中公布了：1.一种反应腔用可调定位装置，包括上盖（1）、套设于上腔内的反应腔（2），所述上盖（1）设置于上腔的底面并连通上腔，其特征在于，还包括： 一号槽（11）和二号槽（21），相对设置以承接挡块（4）；所述一号槽（11）开设于上盖（1）的内环面，所述二号槽（21）开设于反应腔（2）的外环面；所述一号槽（11）的内环面和二号槽（21）的外环面之间形成预设间隙； 所述挡块（4），用于连接上盖（1）和反应腔（2），其数量至少为2；所述挡块（4）可沿着一号槽（11）、二号槽（21）移动； 调节孔（12），与挡块（4）对应设置，其开设于上盖（1）的上表面并连通所述一号槽（11），其沿径向延伸，其内放置调节件（5）； 所述调节件（5），用于沿径向调节挡块（4），其与挡块（4）对应设置且与挡块（4）连接；所述上腔上开设维护窗口； 及定位孔（13），其开设于上盖（1），用于承接螺丝，当螺丝与对应的挡块（4）上的安装孔配合时，上盖（1）、反应腔（2）和对应的挡块（4）连接成一体。

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