泉芯半导体科技(无锡)有限公司欧阳小泉获国家专利权
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龙图腾网获悉泉芯半导体科技(无锡)有限公司申请的专利一种胶体过滤装置及晶圆处理机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223324131U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422709913.2，技术领域涉及：B01D29/35；该实用新型一种胶体过滤装置及晶圆处理机是由欧阳小泉设计研发完成，并于2024-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种胶体过滤装置及晶圆处理机在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种胶体过滤装置，其包括排液管、过滤机构、储液罐和排胶机构，过滤机构包括箱体和过滤筒，排液管安装在箱体上，排液管用于将胶体和药液的混合液体排入过滤筒中，过滤筒与箱体之间形成用于暂存过滤后的药液的腔体；腔体与储液罐相连通，腔体内过滤后的药液流入储液罐中；排胶机构包括排胶管，排胶管与过滤筒连通，排胶管接入厂务排污管，混合液体经过滤筒过滤后药液进入腔体中，胶体被分离至过滤筒内并通过排胶管排入厂务排污管。上述胶体过滤装置通过过滤机构、储液罐和排胶机构的配合，实现了胶体的自动过滤、无需操作人员频繁操作、省时省力，同时回流至储液罐中的药液经精过滤后还能够重复利用，大大降低了晶圆的处理成本。
本实用新型一种胶体过滤装置及晶圆处理机在权利要求书中公布了：1.一种胶体过滤装置，其特征在于，所述胶体过滤装置包括排液管、过滤机构、储液罐和排胶机构，其中： 所述过滤机构包括箱体和过滤筒，所述过滤筒安装在所述箱体内，所述排液管安装在所述箱体上，所述排液管的排液口位于所述过滤筒的上方，所述排液管被配置为将胶体和药液的混合液体排入所述过滤筒中，所述过滤筒上开设有多个过滤孔，所述过滤筒与所述箱体之间形成用于暂存过滤后的药液的腔体； 所述储液罐被配置为储存过滤后的药液，所述腔体通过管路与所述储液罐相连通，所述腔体内过滤后的药液经管路流入所述储液罐中； 所述排胶机构包括排胶管，所述排胶管的第一端与所述过滤筒的底端相连通，所述排胶管的第二端接入厂务排污管，药液和胶体的混合液体经所述过滤筒过滤后，所述药液进入所述腔体中，所述胶体被分离至所述过滤筒内并通过所述排胶管排入所述厂务排污管。
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