芯恩(青岛)集成电路有限公司王凡获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利一种载台监控装置及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223333758U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422705037.6，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种载台监控装置及半导体设备是由王凡;盖文超;张冉;宋妍妍设计研发完成，并于2024-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种载台监控装置及半导体设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种载台监控装置及半导体设备，装置包括：重力感应部，设于载台的底面下方，所述重力感应部的上表面上均匀分布有多个重力传感器，每个所述重力传感器用于在所述载台自由位于所述重力感应部的上表面上时，对感应范围内的所述载台的局部重量进行感测；支承部，用于对所述重力感应部的下表面进行支撑。本实用新型可对载台的局部重量是否达标进行实时监测，以此能够对载台表面是否存在例如破损或脏污进行有效地在线监控，从而实现对载台健康状况的精准把握，保证并提升了良率。
本实用新型一种载台监控装置及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种载台监控装置，其特征在于，包括： 重力感应部，设于载台的底面下方，所述重力感应部的上表面上均匀分布有多个重力传感器，每个所述重力传感器用于在所述载台自由位于所述重力感应部的上表面上时，对感应范围内的所述载台的局部重量进行感测； 支承部，用于对所述重力感应部的下表面进行支撑。
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