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龙图腾网获悉泉芯半导体科技(无锡)有限公司申请的专利一种可调式晶圆喷淋机构及晶圆处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223333759U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422705267.2，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种可调式晶圆喷淋机构及晶圆处理装置是由欧阳小泉设计研发完成，并于2024-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种可调式晶圆喷淋机构及晶圆处理装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种可调式晶圆喷淋机构及晶圆处理装置，该可调式晶圆喷淋机构包括处理筒、供液通道和喷嘴组件，处理筒的筒壁内设置有道供液通道；每组喷嘴组件包括多个喷头，处理筒上对应每个喷头均设置有安装孔；每个喷头包括第一喷头和第二喷头，第二喷头的第一端伸入处理筒的腔体内，第二喷头的第二端开设有凹槽，第二喷头内设置有喷液通道，第一喷头的第一端设置有凸起部，第一喷头的第二端设置有调节部，第一喷头和第二喷头组合后，凸起部位于凹槽内，凸起部与凹槽之间形成分液通道。上述可调式晶圆喷淋机构通过第一喷头和第二喷头配合，使得喷头可以调整喷淋角度，同时对供液通道内的液体进行分流，提高了处理晶圆的效率。

本实用新型一种可调式晶圆喷淋机构及晶圆处理装置在权利要求书中公布了：1.一种可调式晶圆喷淋机构，其特征在于，所述可调式晶圆喷淋机构包括处理筒、若干道供液通道和若干组喷嘴组件，其中： 所述处理筒的筒壁内沿周向间隔设置有所述若干道供液通道，每道所述供液通道对应一组所述喷嘴组件； 每组所述喷嘴组件包括沿所述供液通道长度方向间隔设置的多个喷头，所述处理筒上对应每个所述喷头均设置有贯穿所述供液通道的安装孔，每个所述喷头可转动地安装在对应的所述安装孔内； 每个所述喷头包括第一喷头和第二喷头，所述第二喷头的第一端伸入所述处理筒的腔体内，所述第二喷头的第二端开设有凹槽，所述第二喷头内设置有喷液通道，所述第一喷头的第一端设置有凸起部，所述第一喷头的第二端设置有调节部，所述第一喷头和所述第二喷头密封安装在对应的所述安装孔后，所述凸起部位于所述凹槽内，所述凸起部与所述凹槽之间形成分液通道，所述分液通道的第一端与所述供液通道相连通，所述分液通道的第二端与所述喷液通道相连通，通过所述调节部调节所述第一喷头转动，进而带动所述第二喷头转动，以调节所述喷头的喷液角度。

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