泉芯半导体科技(无锡)有限公司欧阳小泉获国家专利权
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龙图腾网获悉泉芯半导体科技(无锡)有限公司申请的专利一种自动升降门及晶圆处理机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223333760U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422705306.9，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种自动升降门及晶圆处理机是由欧阳小泉设计研发完成，并于2024-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种自动升降门及晶圆处理机在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种自动升降门及晶圆处理机，该自动升降门包括基架、第一驱动组件、升降件、第二驱动件和门板组件，基架上开设有第一避让孔，升降件可升降地安装在基架上，第一驱动组件的固定端安装在基架上，第一驱动组件的驱动端连接升降件；第二驱动件的固定端安装在升降件上，第二驱动件的驱动端连接门板组件，第二驱动件被配置为驱动门板组件靠近或远离基架；第一驱动组件驱动升降件上升至预设位置，第二驱动件驱动门板组件靠近基架移动，以使得门板组件穿过第一避让孔并将晶圆处理腔的开口封闭。上述自动升降门通过第一驱动组件、升降件、第二驱动件和门板组件实现了将晶圆处理机的开闭门设置为升降式，节约了空间。
本实用新型一种自动升降门及晶圆处理机在权利要求书中公布了：1.一种自动升降门，其特征在于，所述自动升降门包括基架、第一驱动组件、升降件、第二驱动件和门板组件；其中： 所述基架上开设有第一避让孔，所述升降件可升降地安装在所述基架上，所述第一驱动组件的固定端安装在所述基架上，所述第一驱动组件的驱动端连接所述升降件，所述第一驱动组件被配置为驱动所述升降件升降； 所述第二驱动件的固定端安装在所述升降件上，所述第二驱动件的驱动端连接所述门板组件，所述第二驱动件被配置为驱动所述门板组件靠近或远离所述基架； 所述第一驱动组件驱动所述升降件上升至对应所述第一避让孔的高度，所述第二驱动件驱动所述门板组件靠近所述基架移动，以使得所述门板组件穿过所述第一避让孔并将晶圆处理腔的开口封闭。
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