买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉重庆市计量质量检测研究院申请的专利基于透射古斯汉欣位移和光谱联用的多层薄膜光学特性检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119534404B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411565674.6，技术领域涉及：G01N21/59；该发明授权基于透射古斯汉欣位移和光谱联用的多层薄膜光学特性检测方法是由岳翀;陶磊;徐健;周进;蔡茜设计研发完成，并于2024-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于透射古斯汉欣位移和光谱联用的多层薄膜光学特性检测方法在说明书摘要公布了：一种基于透射古斯汉欣位移和光谱联用的多层薄膜光学特性检测方法，其特征在于：包括S1：测量多层薄膜透射TM偏振波的光点位置信息；S2：数据处理得到入射波长‑透射古斯汉欣位移关系曲线；S3：测量多层薄膜的光谱信息；S4：判断多层薄膜的类型：为增反膜时进入S5，为增透膜时进入S6，为分束膜时进入S7；S5：建立增反膜目标函数，计算得到增反膜目标函数最小时的增反膜参数向量；S6：建立增透膜目标函数，计算得到增透膜目标函数最小时的增透膜参数向量；S7：建立分束膜目标函数，计算得到分束膜目标函数最小时的分束膜参数向量；效果：提高了多层薄膜光学特性的测量效率和准确性。

本发明授权基于透射古斯汉欣位移和光谱联用的多层薄膜光学特性检测方法在权利要求书中公布了：1.一种基于透射古斯汉欣位移和光谱联用的多层薄膜光学特性检测方法，其特征在于：包括以下步骤： 步骤S1：测量多层薄膜透射TM偏振波的光点位置信息：利用透射古斯汉欣位移测量装置测量多层薄膜的透射TM偏振波的光点位置信息； 步骤S2：数据处理得到入射波长-透射古斯汉欣位移关系曲线：根据所述光点位置信息，得到多层薄膜的入射波长-透射古斯汉欣位移关系曲线，进而得到TM偏振波下的透射古斯汉欣位移； 步骤S3：测量多层薄膜的光谱信息：利用光谱测量装置测量多层薄膜在连续波长λ下TM偏振波、TE偏振波的反射光谱数据和透射光谱数据，测量过程中保持入射角和入射点不变； 步骤S4：判断多层薄膜的类型：根据测量的所述反射光谱数据和透射光谱数据，判断所述多层薄膜的薄膜类型； 当入射波长内的平均反射率大于等于0.95时，所述多层薄膜的薄膜类型为增反膜，进入步骤S5； 当入射波长内的平均透过率大于等于0.95时，所述多层薄膜的薄膜类型为增透膜，进入步骤S6； 当入射波长内的平均透过率和平均反射率均为0.5±0.05时，所述多层薄膜的薄膜类型为分束膜，进入步骤S7； 步骤S5：判断多层薄膜为增反膜时，对所述透射古斯汉欣位移和TM偏振波的反射光谱数据进行归一化处理，得到处于同一量级的反射率值与透射古斯汉欣位移数据集，并建立增反膜目标函数，计算得到全波段的增反膜光学常数； 初始化解空间{n，k，d}的搜索范围，采用拟合计算，根据所述增反膜目标函数的大小判断解的精确度，得到增透膜目标函数最小时所述多层薄膜的增反膜参数向量a1； 所述增反膜目标函数的表达式如下： 其中，F1表示增反膜目标函数，Nexp表示总的入射波长数量；表示反演计算得到的TM偏振波下的透射古斯汉欣位移；表示从实验测得的透射古斯汉欣位移曲线中提取的TM偏振波下的第i个参考点的透射古斯汉欣位移值；表示反演计算得到的TM偏振波下的增反膜反射率；表示从实验测得的反射率曲线中提取的TM偏振波下的第i个参考点的增反膜反射率；a1表示增反膜参数向量，a＝n1，k1，…nm，km，其中，m为所述多层薄膜的层数，m≥2；n表示折射率，k表示消光系数，d表示薄膜厚度；下标cal表示反演计算得到的，下标exp表示从实验测得的，上标TM表示横磁波； 步骤S6：判断多层薄膜为增透膜时，对所述透射古斯汉欣位移和TM偏振波的透射光谱数据进行归一化处理，得到处于同一量级的透射率值与透射古斯汉欣位移数据集，并建立增透膜目标函数，计算得到全波段的增透膜光学常数； 初始化解空间{n，k，d}的搜索范围，采用拟合计算，根据所述增透膜目标函数的大小判断解的精确度，得到增透膜目标函数最小时所述多层薄膜的增透膜参数向量a2； 步骤S7：判断多层薄膜为分束膜时，对所述透射古斯汉欣位移和所述TM偏振波、TE偏振波的反射光谱数据进行归一化处理，得到处于同一量级的反射率值与透射古斯汉欣位移数据集，建立分束膜目标函数，计算得到全波段的分束膜光学常数； 初始化解空间{n，k，d}的搜索范围，采用拟合计算，根据所述分束膜目标函数的大小判断解的精确度，得到分束膜目标函数最小时所述多层薄膜的分束膜参数向量a3。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人重庆市计量质量检测研究院，其通讯地址为：401120 重庆市渝北区杨柳北路1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。