太原科技大学侯明宇获国家专利权
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龙图腾网获悉太原科技大学申请的专利一种sic晶圆自动上下料的连续研磨装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223326031U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422693215.8,技术领域涉及:B24B7/22;该实用新型一种sic晶圆自动上下料的连续研磨装置是由侯明宇;柴亦刘;季明举;仁良宇设计研发完成,并于2024-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种sic晶圆自动上下料的连续研磨装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种sic晶圆自动上下料的连续研磨装置,该sic晶圆自动上下料的连续研磨装置,包括工作台,其中心设有旋转柱,旋转柱外圈的工作台上设有三个工作位,三者以旋转柱为中心呈等边三角形设置,旋转柱外侧对应每个工作位方向连接有旋转臂,每个旋转臂的末端设有夹具,三个工作位处分别设有能与夹具配合的上料机构、研磨机构和下料机构,上料机构能与该工作位处的夹具配合实现sic晶圆上料至夹具中,研磨机构能与夹具配合实现sic晶圆顶面研磨,下料机构能与夹具配合实现sic晶圆下料。该连续研磨装置,不仅可以实现sic晶圆连续自动上料、研磨以及下料,且不易损伤晶圆正面电路,并能实现背面有效研磨,达到了较高的生产效率。
本实用新型一种sic晶圆自动上下料的连续研磨装置在权利要求书中公布了:1.一种sic晶圆自动上下料的连续研磨装置,其特征在于,包括工作台,所述工作台的中心设有旋转柱,所述旋转柱外圈的工作台上设有三个工作位,三个工作位以旋转柱为中心呈等边三角形设置,所述旋转柱外侧对应每个工作位方向连接有一旋转臂,每个旋转臂的末端设有夹具,三个工作位处分别设有能与夹具配合的上料机构、研磨机构和下料机构,其中,上料机构能与该工作位处的夹具配合实现sic晶圆上料至夹具中,研磨机构能与该工作位处的夹具配合实现sic晶圆顶面研磨,下料机构能与夹具配合实现sic晶圆下料,所述旋转柱能够通过第一驱动件驱动以使三个旋转臂在三个工作位之间轮换。
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