武汉楚兴技术有限公司饶远俊获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉楚兴技术有限公司申请的专利一种化学机械抛光设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223326128U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422699336.3，技术领域涉及：B24B37/34；该实用新型一种化学机械抛光设备是由饶远俊;孙继东设计研发完成，并于2024-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学机械抛光设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种化学机械抛光设备，该设备包括研磨垫、第一管路、以及位于第一管路内的第二管路；第二管路用于向研磨垫输运至少一种流体；第一管路的第一出口靠近研磨垫，第二管路的第二出口靠近研磨垫；第一出口距离研磨垫的第一高度，小于第二出口距离研磨垫的第二高度。总之，通过在第二管路的外面设置包围的第一管路，且第一高度低，第二高度高，从而使得在第二出口向研磨垫喷射流体以清洗研磨垫时，流体能够在第一管路的第一出口的内侧壁上进行多次反射，从而使得流体能够以更多的角度喷射至研磨垫上，流体能够更发散的喷射至沟槽内部，从而增强对研磨垫的清洗效果。
本实用新型一种化学机械抛光设备在权利要求书中公布了：1.一种化学机械抛光设备，其特征在于，包括： 研磨垫、第一管路、以及位于所述第一管路内的第二管路；所述第二管路用于向所述研磨垫输运至少一种流体； 所述第一管路的第一出口靠近所述研磨垫，所述第二管路的第二出口靠近所述研磨垫；所述第一出口距离所述研磨垫的第一高度，小于所述第二出口距离所述研磨垫的第二高度。
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