苏州镁伽科技有限公司李昌坤获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州镁伽科技有限公司申请的专利一种测高喷吹装置及晶圆切割机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223326700U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422674589.5,技术领域涉及:B28D7/02;该实用新型一种测高喷吹装置及晶圆切割机是由李昌坤设计研发完成,并于2024-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种测高喷吹装置及晶圆切割机在说明书摘要公布了:本实用新型提供的一种测高喷吹装置,通过在原有的喷管和水路管道上并联一条气路管道,气路管道和水路管道分别用来向喷管提供压缩空气和清洗液,在气路管道和水路管道上分别串联气路控制阀和水路控制阀以控制管路的通断。在对切割刀的外径进行非接触测高前,先关闭水路管道上的水路控制阀,打开气路管道上的气路控制阀,利用压缩空气将喷管中的残留水滴喷吹干净,避免水滴掉落到光纤传感器头部,影响光纤传感器的光通量变化,从而避免测高误差,有效提高了测高精度。本实用新型还提供了一种具有上述测高喷吹装置的晶圆切割机。
本实用新型一种测高喷吹装置及晶圆切割机在权利要求书中公布了:1.一种测高喷吹装置,其特征在于,包括喷管、总管道、气路管道、水路管道、气路控制阀和水路控制阀,所述喷管的一端为喷吹口,所述喷管的另一端通过所述总管道分别与所述气路管道和所述水路管道连通,所述气路控制阀和所述水路控制阀分别串联于所述气路管道和所述水路管道上,所述气路管道和所述水路管道分别用于通入压缩空气和清洗液。
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