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龙图腾网获悉苏州精材半导体科技有限公司;北京精材半导体科技有限公司申请的专利化学气相沉积设备反应系统与使用方法、运输系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119506850B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411540742.3，技术领域涉及：C23C16/52；该发明授权化学气相沉积设备反应系统与使用方法、运输系统是由朴钟熏;崔海珍;金锡津设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本化学气相沉积设备反应系统与使用方法、运输系统在说明书摘要公布了：本专利涉及洁净室技术领域，特别地涉及一种化学气相沉积设备反应系统与使用方法、运输系统，运输系统包括：反应容器、两根移动轨道与两个驱动装置。反应容器，用于提供化学气相沉积反应的反应空间。两根移动轨道，相互平行设置在反应容器的预设运动轨迹的两侧。两个驱动装置，分别设置在两个移动轨道上并沿着移动轨道运动，两个驱动装置用于承载反应容器，以带动反应容器沿着预设运动轨迹运动运送至目标位，驱动装置还能够在目标位卸下反应容器。通过两个驱动装置分别自反应容器的两侧抬升反应容器，带动反应容器沿着移动轨道运输，在到达目标位后将反应容器放下，使反应容器在反应系统内各个工位之间的移动，以满足化学气相沉积设备的工作需求。

本发明授权化学气相沉积设备反应系统与使用方法、运输系统在权利要求书中公布了：1.一种化学气相沉积设备反应系统的运输系统，其特征在于，所述运输系统包括： 反应容器，用于提供化学气相沉积反应的反应空间； 两根移动轨道，相互平行设置在所述反应容器的预设运动轨迹的两侧； 两个驱动装置，分别设置在两个所述移动轨道上并沿着所述移动轨道运动，两个所述驱动装置用于承载所述反应容器，以带动所述反应容器沿着预设运动轨迹运动运送至目标位，所述驱动装置还能够在所述目标位卸下所述反应容器所述驱动装置包括： 移动组件，设置在所述移动轨道上，沿着所述移动轨道运动； 抬升机构，设置在所述移动组件上，伴随所述移动组件沿着所述移动轨道移动；所述抬升机构能够抵接在所述反应容器上并抬升所述反应容器，以使所述反应容器悬空从而随所述移动组件运动； 所述反应容器的外表面设置有连接组件，所述连接组件上开设有连接槽；所述抬升机构包括：升降组件；对接组件，设置在所述升降组件上，所述升降组件驱动所述对接组件升降运动；所述对接组件包括：承载部件，所述承载部件上设置有对接销，所述对接销与所述连接槽相对应以插入所述连接槽内；所述承载部件用于承托所述连接组件，以承载所述反应容器； 所述移动组件还包括： 滑动轮，所述滑动轮的轮缘上设置有滚动槽，所述移动轨道的轨道卡入所述滚动槽，以使所述滑动轮沿着所述移动轨道运动。

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