芜湖映日科技股份有限公司潘友华获国家专利权
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龙图腾网获悉芜湖映日科技股份有限公司申请的专利一种ITO旋转靶材内圆调节定位支撑工装获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223326127U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422651761.5，技术领域涉及：B24B37/27；该实用新型一种ITO旋转靶材内圆调节定位支撑工装是由潘友华;曾墩风;屈一鸣;汪大庆设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种ITO旋转靶材内圆调节定位支撑工装在说明书摘要公布了：本实用新型涉及靶材加工设备技术领域，具体涉及一种ITO旋转靶材内圆调节定位支撑工装，包括光轴以及光轴外部靠近两端安装的多个支撑工装，支撑工装包括套接在光轴外部的涨紧套块，涨紧套块的内部开设有贯穿通道，贯穿通道内穿入光轴，涨紧套块的两侧均设置有锥形套筒，锥形套筒设置在贯穿通道与光轴之间，支撑工装的外部还设置有调整件。调整多个涨紧套块至光轴合适的位置，锥形套筒在贯穿通道内部移动，通过双头螺柱与螺母配合锁紧，可在光轴上任意调节，工装整体伸入靶材内壁后，涨紧套块对靶材内壁支撑，涨紧套块外端与靶材内侧壁相贴合对靶材固定，再通过调整件与支撑工装的配合下，对靶材内圆支撑单独调节，从而适用于内外径同心度较差的靶材。
本实用新型一种ITO旋转靶材内圆调节定位支撑工装在权利要求书中公布了：1.一种ITO旋转靶材内圆调节定位支撑工装，包括光轴1以及光轴1外部靠近两端安装的多个支撑工装2，其特征在于，所述支撑工装2至少为两组，所述支撑工装2包括套接在光轴1外部的涨紧套块3，涨紧套块3的内部开设有贯穿通道4，所述贯穿通道4内穿入光轴1，所述涨紧套块3的两侧均设置有锥形套筒5，所述锥形套筒5设置在贯穿通道4与光轴1之间； 两个所述锥形套筒5之间插接有多组双头螺柱7，多组所述双头螺柱7贯穿涨紧套块3内，且双头螺柱7的两端均安装有螺母8，所述锥形套筒5与涨紧套块3之间安装有锁紧螺钉9； 所述支撑工装2的外部还设置有调整件10，所述调整件10使支撑工装2能够适应不同的靶筒内径。
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