合肥韬普斯半导体科技有限公司孙先超获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥韬普斯半导体科技有限公司申请的专利一种射频电源接入装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223334058U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422651640.0,技术领域涉及:H01R13/02;该实用新型一种射频电源接入装置是由孙先超;孙轶群设计研发完成,并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种射频电源接入装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种射频电源接入装置,具体涉及等离子清洗设备领域,包括一个连接在电极板平面上的电极杆,在电极杆的外部从下往上依次套设有进电法兰座、绝缘座、绝缘套和绝缘盖,在绝缘套和绝缘盖的外部套设有延伸至绝缘座上的屏蔽罩;在进电法兰座内部开设有贯穿的通孔,在通孔底部嵌设有绝缘环,绝缘座底端插接于通孔内部且贴合在绝缘环上,在绝缘座内部开设有直径大于电极杆直径的密封槽,在密封槽内填充有上下堆叠的第一密封隔环和第二密封隔环。本实用新型结构拆装方便,实现了电极与真空腔体的绝缘,对射频电源电极杆进行真空密封,保证了射频电源的有效屏蔽,还减少电源功率反射和损失。
本实用新型一种射频电源接入装置在权利要求书中公布了:1.一种射频电源接入装置,其特征在于,包括一个连接在电极板平面上的电极杆,在电极杆的外部从下往上依次套设有进电法兰座、绝缘座、绝缘套和绝缘盖,在绝缘套和绝缘盖的外部套设有延伸至绝缘座上的屏蔽罩; 在进电法兰座内部开设有贯穿的通孔,在通孔底部嵌设有绝缘环,绝缘座底端插接于通孔内部且贴合在绝缘环上,在绝缘座内部开设有直径大于电极杆直径的密封槽,在密封槽内填充有上下堆叠的第一密封隔环和第二密封隔环。
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