东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司郝琪获国家专利权
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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利半导体传输装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223333764U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422595024.8，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型半导体传输装置是由郝琪;赵丽莎;白芷若;魏志国;赵晨智设计研发完成，并于2024-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体传输装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种半导体传输装置，其包括腔室结构、前端传输模块以及机械手臂。腔室结构形成有互相连通的缓冲腔室、传输腔室和主腔室，缓冲腔室用于接收从前端传输模块传输的晶圆。机械手臂设置于传输腔室中，用于在缓冲腔室与主腔室之间传输晶圆。由于缓冲腔室、传输腔室和主腔室中的每一个并非独立的腔室，而是集成在同一个腔室结构上的三个互相连通的功能腔室，这种将缓冲腔室、传输腔室和主腔室集成在腔室结构上的集成式设计，使得本申请的半导体传输装置的集成度高，其在保证缓冲腔室、传输腔室和主腔室具备现有腔室功能的前提下，能够提升半导体传输装置的空间占用率、降低物料成本和制造成本。
本实用新型半导体传输装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体传输装置，其特征在于，包括腔室结构（100）、前端传输模块（200）以及机械手臂（300）； 所述腔室结构（100）形成有互相连通的缓冲腔室（10）、传输腔室（20）和主腔室（30），所述缓冲腔室（10）用于接收从所述前端传输模块（200）传输的晶圆； 所述机械手臂（300）设置于所述传输腔室（20）中，用于在所述缓冲腔室（10）与所述主腔室（30）之间传输晶圆，以使所述晶圆能够在移入所述主腔室（30）中时进行检测以及在检测完成后移出所述主腔室（30）。
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