山东飞舟智能设备有限公司王志刚获国家专利权
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龙图腾网获悉山东飞舟智能设备有限公司申请的专利一种自适应式晶圆晶锭转运机械手获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223333766U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422585584.5，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种自适应式晶圆晶锭转运机械手是由王志刚;韩延峰设计研发完成，并于2024-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种自适应式晶圆晶锭转运机械手在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体材料加工设备技术领域，尤其涉及一种自适应式晶圆晶锭转运机械手，包括用于整体固定支撑的底座与支架，支架设为C形结构且固设于底座上，底座底部均匀安装有多组真空吸盘，且真空吸盘通过管路与外部真空设备相连接，底座内部靠近四个拐角处均通过轴座贯穿安装有可转动的导杆，导杆下端固设有水平结构的旋转托手。本实用新型通过设置的多组真空吸盘提高了机械手的负载能力，能够吸附转运不同直径尺寸的晶圆，提高了适用范围，同时设置的导杆可进行上下移动调节，能够适应不同厚度晶锭的转运需求，使得机械手无需更换即可应对多种尺寸的晶圆或晶锭，大大提高了使用的灵活性和便捷性。
本实用新型一种自适应式晶圆晶锭转运机械手在权利要求书中公布了：1.一种自适应式晶圆晶锭转运机械手，其特征在于：包括用于整体固定支撑的底座16与支架7，所述支架7设为C形结构且固设于底座16上，所述底座16底部均匀安装有多组真空吸盘5，且所述真空吸盘5通过管路与外部真空设备相连接，所述底座16内部靠近四个拐角处均通过轴座6贯穿安装有可转动的导杆3，所述导杆3下端固设有水平结构的旋转托手4，所述导杆3上通过轴承装配有可转动的蜗轮10，所述蜗轮10上侧设有与之一体的第二带轮18，所述第二带轮18上侧设有第一带轮17，多组所述第一带轮17之间通过第一皮带8传动连接，多组所述第二带轮18之间通过第二皮带9传动连接，所述底座16后侧装配有伺服电机13，所述伺服电机13输出端上安装有蜗杆12，且所述蜗杆12与其中一组蜗轮10啮合传动连接，所述支架7内部左侧固设有伺服电缸15，所述伺服电缸15输出端安装固定块14，所述固定块14与第一带轮17固定连接。
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