拓思精工科技(苏州)有限公司惠二援获国家专利权
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龙图腾网获悉拓思精工科技(苏州)有限公司申请的专利晶圆夹持装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223333774U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422585627.X，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型晶圆夹持装置是由惠二援;宋昌万;孔玉朋;蒋君;陈传磊设计研发完成，并于2024-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆夹持装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及的晶圆夹持装置，其包括绕着晶圆周向分布的多个夹轮、动力部件，多个夹轮划分为位于晶圆相对两侧的第一夹轮组和第二夹轮组，第一夹轮组和第二夹轮组能够相向靠近或远离运动以形成夹紧晶圆的第一位置或者释放晶圆的第二位置，处于第一位置时，第一夹轮组和第二夹轮组之间形成自上而下逐层分布的多个夹紧区，其中多个夹紧区的直径自上而下逐级变小或变大设置，不同直径的晶圆夹紧在对应的夹紧区内。本实用新型基于第一、二夹轮组的配合，并在等距移动下实现对不同规格的晶圆的夹紧或松开，结构简单，能够有效提升设备的空间利用率，同时能够有效提高晶圆的装卸效率。
本实用新型晶圆夹持装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆夹持装置，其包括绕着晶圆周向分布的多个夹轮、动力部件，其特征在于：所述多个夹轮划分为位于晶圆相对两侧的第一夹轮组和第二夹轮组，其中第一夹轮组和第二夹轮组中的各所述夹轮分别同步且同向运动，所述第一夹轮组和第二夹轮组能够相向靠近或远离运动以形成夹紧晶圆的第一位置或者释放晶圆的第二位置，处于第一位置时，所述第一夹轮组和第二夹轮组之间形成自上而下逐层分布的多个夹紧区，其中所述多个夹紧区的直径自上而下逐级变小或变大设置，不同直径的晶圆能够同步夹紧在对应的所述夹紧区内。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拓思精工科技(苏州)有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市吴江区平望镇梅堰西路58号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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